氦-氖气体激光器件排气充气工艺

吴远荣

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氦-氖气体激光器件排气充气工艺

吴远荣

文章导航 > 激光技术 > 1980 > 4(2): 23-27

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氦-氖气体激光器件排气充气工艺

吴远荣

1.
向阳仪器厂

摘要: 气体激光器件从广义上来说,是属于离子器件的一种,在总成工艺的最后一道工序,包括两个步骤;第一步排气,第二步充入一定压强的工作气体。下面就我们在实际工作中的一些体会来谈谈对氦-氖气体激光器件排气充气工艺问题的考虑。

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