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ISSN1001-3806CN51-1125/TN 网站地图

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电子束蒸发源的膜料蒸气密度分布函数

丁方

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电子束蒸发源的膜料蒸气密度分布函数

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出版历程
  • 刊出日期:  1983-07-25

电子束蒸发源的膜料蒸气密度分布函数

摘要: 电子束蒸发自六十年代初引入光学薄膜制备技术以来,对其蒸发特性研究甚少。本文假定膜料表面的熔坑呈圆锥体形状,计算了膜料蒸气密度分布函数,并作了实验验证。这一问题直接联系到膜厚均匀性,值得薄膜工作者参考。

English Abstract

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