低能电子束辅助蒸镀的初步实验

周九林; 张苑; 颜清华; 周明

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低能电子束辅助蒸镀的初步实验

周九林 , 张苑 , 颜清华 , 周明

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低能电子束辅助蒸镀的初步实验

1.
中科院成都分院分析测试中心

摘要: 自从六十年代中期用断面电子显微术揭示了薄膜的微结构以来,薄膜的各种特性,光学的,磁学的,电学的,超导的,机械的,以及各种薄膜现象,包括薄膜的稳定性,追根溯源,便找到了说明的根由和改进的出发点。一种自然的趋势,是用某种物理手段来影响薄膜的成核、成长过程,改变薄膜的结构,从而使薄膜具有某些预期的特性。

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低能电子束辅助蒸镀的初步实验

1. 中科院成都分院分析测试中心

收稿日期: 1985-10-24
网络出版日期: 1986-03-25

摘要: 自从六十年代中期用断面电子显微术揭示了薄膜的微结构以来,薄膜的各种特性,光学的,磁学的,电学的,超导的,机械的,以及各种薄膜现象,包括薄膜的稳定性,追根溯源,便找到了说明的根由和改进的出发点。一种自然的趋势,是用某种物理手段来影响薄膜的成核、成长过程,改变薄膜的结构,从而使薄膜具有某些预期的特性。