石英晶体膜厚监控仪在红外镀膜中的初步应用

李复蝉; 蒲发通

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ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

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石英晶体膜厚监控仪在红外镀膜中的初步应用

李复蝉 , 蒲发通

文章导航 > 激光技术 > 1987 > 11(3): 11-17

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石英晶体膜厚监控仪在红外镀膜中的初步应用

1.
西南技术物理研究所

作者简介: 李复蝉,女,1941年1月出生,中国真空学会会员;蒲发通,男,1938年4月出生,现从事光学薄膜工艺工作,曾参加“光学薄膜偏振片”课题的研制,该课题81年获兵器工业部“重大技术改进一等奖”,85年获“国家科学技术进步三等奖.;李复蝉,女,1941年1月出生,中国真空学会会员;蒲发通,男,1938年4月出生,现从事光学薄膜工艺工作,曾参加“光学薄膜偏振片”课题的研制,该课题81年获兵器工业部“重大技术改进一等奖”,85年获“国家科学技术进步三等奖..

The preliminary application of the quartz crystal monitor to infrared coating

1.
Southwest Institute of Technical Physics

摘要: 本文介绍了兰州物理所研制的SF-3A石英晶体膜厚监控仪在红外镀膜(10.6μm波段)中的初步实验应用。SF-3A作为光学镀膜的膜厚监测是可行的,实验结果与理论计算一致,与光电极值法的效果相同。
Abstract: The preliminary experiments using the model SF-3A quartz crystal monitor for infrared coating are described.SF-3A monitor is feasible as a film thickness monitor,and the resulting results are consistent with the calculation and similar with optical monitoring.

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