高温超导薄膜的激光制备技术及其展望

范永昌; 安承武; 周风晴; 陆冬生

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高温超导薄膜的激光制备技术及其展望

范永昌 , 安承武 , 周风晴 , 陆冬生

文章导航 > 激光技术 > 1989 > 13(5): 35-40

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高温超导薄膜的激光制备技术及其展望

1.
华中理工大学激光技术研究所

作者简介: 范永昌,男,1955年出生。助教,理学硕士。现从事应用激光方面的研究;安承武,男,1956年出生。讲师,在读博士生。从事激光制膜方面的研究;陆冬生,男,1942年出生。副教授,激光技术国家实验室副主任。从事光电子技术方面研究;周风晴,男,1981年出生。助教,理学硕士。现从事光和物质相互作用方面的研究。;范永昌,男,1955年出生。助教,理学硕士。现从事应用激光方面的研究;安承武,男,1956年出生。讲师,在读博士生。从事激光制膜方面的研究;陆冬生,男,1942年出生。副教授,激光技术国家实验室副主任。从事光电子技术方面研究;周风晴,男,1981年出生。助教,理学硕士。现从事光和物质相互作用方面的研究。;范永昌,男,1955年出生。助教,理学硕士。现从事应用激光方面的研究;安承武,男,1956年出生。讲师,在读博士生。从事激光制膜方面的研究;陆冬生,男,1942年出生。副教授,激光技术国家实验室副主任。从事光电子技术方面研究;周风晴,男,1981年出生。助教,理学硕士。现从事光和物质相互作用方面的研究。;范永昌,男,1955年出生。助教,理学硕士。现从事应用激光方面的研究;安承武,男,1956年出生。讲师,在读博士生。从事激光制膜方面的研究;陆冬生,男,1942年出生。副教授,激光技术国家实验室副主任。从事光电子技术方面研究;周风晴,男,1981年出生。助教,理学硕士。现从事光和物质相互作用方面的研究。.

Laser making technique and perspective of high temperature superconducting film

1.
Huazhong University of Science and Technology

摘要: 本文评述了激光溅射方法制备高温超导薄膜的特点和优势,探讨了溅射和成膜过程的基本机理,展望了激光技术在高温超导薄膜的低温制备、显微制版等超导微电子工艺中的广阔应用前景。
Abstract: The characteristics and advantages of laser sputtering method for making high temperature surperconducting film are reviewed. The basic mechanism of sputtering and film growing process is disccused. The wide application prospect of laser technology in low temperature making and micropatterning of high temperature surperconducting film is pointed out.

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