DLC膜作为Ge片减反射膜的研究

毛友德; 刘声雷; 杨国伟

高级检索

ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

DLC膜作为Ge片减反射膜的研究

毛友德 , 刘声雷 , 杨国伟

文章导航 > 激光技术 > 1991 > 15(5): 271-273

引用本文:

Citation:

DLC膜作为Ge片减反射膜的研究

1.
合肥工业大学应用物理系, 合肥

作者简介: 毛友德,男,1939年2月出生。副教授。现从事功能薄膜以及非晶态丰导体的研究工作;刘声雷,男,1947年出生。讲师。现从事功能薄膜以及非晶态丰导体的研究工作;杨国伟,男,1964年出生,硕士研究生。从亨DLC和金刚石薄膜研究工作。;毛友德,男,1939年2月出生。副教授。现从事功能薄膜以及非晶态丰导体的研究工作;刘声雷,男,1947年出生。讲师。现从事功能薄膜以及非晶态丰导体的研究工作;杨国伟,男,1964年出生,硕士研究生。从亨DLC和金刚石薄膜研究工作。;毛友德,男,1939年2月出生。副教授。现从事功能薄膜以及非晶态丰导体的研究工作;刘声雷,男,1947年出生。讲师。现从事功能薄膜以及非晶态丰导体的研究工作;杨国伟,男,1964年出生,硕士研究生。从亨DLC和金刚石薄膜研究工作。.

基金项目:
机电部机械工业技术发展基金项目,编号:86J7720.

A study of DLC films for antireflection films of Ge

1.
Department of Applied Physics, Hefei Polytechnic University

摘要: 本文采用rfPCVD方法,以甲苯为工作气体,制备出DLC膜,研究了它的光学性能,以及作为激光窗口材料Ge片的减反射膜的应用。
Abstract: In the present paper,diamondlike carbon films have been formed by rfPCVD from C7H8 gas.The optical properties of DLC films are investigated,the experiment results show that DLC films are suitable for antireflection coatings of laser window.

[1]	Zhou Jianying.Coherent vacuum ultraviolet generation by frequency mixing in glass hollow waveguides, ph D Dissertation, London:Imperial College, 1988
[2]	周建英,黄作柱,余振新et al,激光技术,19901 14 (3):18~22
[3]	Hänsch T W. Appl Opt, 1972; 11 (4):895~898
[4]	Littman M G,Metcalf H J, Appl Opt, 1978; 17 (14):2224~2227
[5]	Littman M G. Appl Opt, 1984; 23 (24):4465~4468
[6]	Lago A, Woehl G, Riva R.Appl Phys,1989; 49B:73~76
[7]	Raymond T D, Esherick P, Smith A V, Opt Lett, 1989; 14(20):1116~1118
[8]	Ewa rt P,Meacher D R, Opt Commum,1989; 71(3~4):197~201
[9]	Hes M K, Appl Opt, 1981; 20 (6):985~988
[10]	Lisboa J A, Teixeira S R,Gunha S L S et al, Opt Commun,1983; 44 (6):393~396
[11]	Chang T,Li F Y.Appl Opt, 1980; 19 (21):3651~3654
[12]	Zhou Jianying, Fu Changhai,Lü Zhenguo et al, Enhanced single transverse mode oscillation by an intracavity circular hollow glass waveguide, Opt Commun (to be publishd)
[13]	吕振国,符昌海,周建英et al.光学学报,1991; 11 (3):285~288

[1]	李大义 , 周小红 , 李义峰 , 陈建国 , 罗斌 , 韩松 . 分析半导体激光器端面单层减反射膜的有效性. 激光技术, 1998, 22(4): 246-250.
[2]	张波 , 黄德修 . 镀有高反膜的1/4波片工作特性分析. 激光技术, 2003, 27(1): 29-30.
[3]	朱耀南 , 缪金义 . 1.06μm硬膜滤光片的设计和制造. 激光技术, 1988, 12(3): 36-42.
[4]	李晓平 , 易新建 , 史铁林 . DWDM窄带滤光片膜层的误差分析与监控策略. 激光技术, 2006, 30(3): 313-316.
[5]	何世昆 , 王刚 , 白云立 , 张继友 , 周于鸣 , 王利 , 黄巧林 , 李晟 . 大口径空间相机反射镜高反膜研究进展. 激光技术, 2022, 46(1): 143-148. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2022.01.017
[6]	严嵋 . 金膜的镀制及其反射率的测量. 激光技术, 1981, 5(4): 49-51.
[7]	韩旭译 , 杨柳校 . 1微米激光对SiO2/TiO2反射膜的损伤结果. 激光技术, 1983, 7(3): 37-41.
[8]	罗定威 . 测量激光膜层反射率的仪器和方法. 激光技术, 1984, 8(2): 7-11.
[9]	倪晓武 , 陆建 , 张放 , 马孜 . 激光对非λ/4膜系变反射率薄膜的损伤机理. 激光技术, 1998, 22(5): 268-270.
[10]	贺敏波 , 江厚满 . 一种降低渐变折射率反射膜表面电场的方法. 激光技术, 2012, 36(3): 312-314,329.
[11]	向永江 . 普通单膜光纤声光频率偏移装置的研究. 激光技术, 1992, 16(6): 327-331.
[12]	张凌峰 , 张永康 , 冯爱新 , 张雷洪 . 激光冲击用柔性贴膜的研究. 激光技术, 2007, 31(1): 65-67.
[13]	曹鸿 , 张传军 , 王善力 , 褚君浩 . 聚苯乙烯滤光膜均匀性的研究. 激光技术, 2012, 36(5): 623-623.
[14]	曹鸿 , 张传军 , 王善力 , 褚君浩 . 磁控溅射制备Zr膜的应力研究. 激光技术, 2012, 36(6): 742-744. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2012.06.008
[15]	周九林 . 激光薄膜偏振片：单色偏振膜设计. 激光技术, 1981, 5(4): 18-26.
[16]	单琼惠译 , 韩旭校 . 铜膜和银膜光泽的保护. 激光技术, 1984, 8(2): 14-14.
[17]	王平秋 , 卢玉村 , 方黎明 . 一种“节能膜”的研制. 激光技术, 1988, 12(4): 49-52.
[18]	王泽敏 , 戢明 , 曾晓雁 . 脉冲激光沉积Al膜的沉积模式及沉积速率研究. 激光技术, 2006, 30(3): 265-267,310.
[19]	侯占杰 , 唐星 , 罗穆伟 , 王振 , 李运波 , 朱玉斌 . 激光诱导化学液相沉积Fe膜的研究. 激光技术, 2016, 40(1): 136-140. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.01.030
[20]	闫磊朋 , 李威 , 洪晓华 , 蔡文娟 . Fe-C合金膜光纤腐蚀传感器的制作及性能研究. 激光技术, 2009, 33(3): 252-255.