电调频半导体激光绝对测量干涉仪

武勇军; 李达成

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电调频半导体激光绝对测量干涉仪

武勇军 , 李达成

文章导航 > 激光技术 > 1996 > 20(5): 298-300

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电调频半导体激光绝对测量干涉仪

1.
清华大学精仪系, 北京, 100084

作者简介: 武勇军,男,1956年11月出生。博士。现在清华大学精仪系做博士后研究工作。近年来主要从事线性调频半导体激光绝对距离测量方面的研究,已完成一项国家自然科学基金项目,并在国内外发表学术论文15篇。.

基金项目:
国家教委博士点基金

A interferometer for absolute distance measurement using diode laser with current induced frequency modulation

1.
Dept. of Precision Instruments, Tsinghua University

摘要: 分析了电调频半导体激光干涉仪的长度绝对测量原理,介绍了干涉仪的基本结构。实验结果表明,该干涉仪的绝对测量范围为0.3～1.5m,测量误差为0.1～0.3mm。
- 绝对测量 /
- 调频 /
- 干涉仪 /
- 半导体激光器
Abstract: The principle of absolute distance measurement using a diode laser with current-induced frequency modulation is presented. The configuration of the interferometer is described. The experimental results show that the measurable range of the interferometer is 0.3 to 1.5 meter with accuracy of 0.1 to 0.3mm.
- absolute measurement /
- interferometer /
- frequency modulation /
- diode laser

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电调频半导体激光绝对测量干涉仪

作者简介: 武勇军,男,1956年11月出生。博士。现在清华大学精仪系做博士后研究工作。近年来主要从事线性调频半导体激光绝对距离测量方面的研究,已完成一项国家自然科学基金项目,并在国内外发表学术论文15篇。

1. 清华大学精仪系, 北京, 100084

收稿日期: 1995-05-15
网络出版日期: 1996-09-25

基金项目: 国家教委博士点基金

关键词:

摘要: 分析了电调频半导体激光干涉仪的长度绝对测量原理,介绍了干涉仪的基本结构。实验结果表明,该干涉仪的绝对测量范围为0.3～1.5m,测量误差为0.1～0.3mm。

English Abstract

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作者简介: 武勇军,男,1956年11月出生。博士。现在清华大学精仪系做博士后研究工作。近年来主要从事线性调频半导体激光绝对距离测量方面的研究,已完成一项国家自然科学基金项目,并在国内外发表学术论文15篇。.

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电调频半导体激光绝对测量干涉仪

作者简介: 武勇军,男,1956年11月出生。博士。现在清华大学精仪系做博士后研究工作。近年来主要从事线性调频半导体激光绝对距离测量方面的研究,已完成一项国家自然科学基金项目,并在国内外发表学术论文15篇。

English Abstract

A interferometer for absolute distance measurement using diode laser with current induced frequency modulation

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