PSD及其在非接触测量中的应用

林华; 王晓秋

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PSD及其在非接触测量中的应用

林华 , 王晓秋

文章导航 > 激光技术 > 1998 > 22(1): 52-54

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PSD及其在非接触测量中的应用

林华,
王晓秋

1.
长春邮电学院电信工程系, 长春, 130021

作者简介: 林华,男,1969年出生.硕士.现从事教学科研工作..

PSD and its application in non contact measurement

1.
Changchun Institute of Post and Telecommunications, Changchun, 130021

摘要: 介绍了一种光电位敏探测器PSD及其在非接触测量中的应用,同时给出测量原理和PSD的前置适配电路.
- 位敏探测器 /
- 非接触测量 /
- 三角测量原理
Abstract: This paper introduces a position sensitive detector and a non contact position detection system.The system include a laser diode light source,a imaging optical system and a image position sensitive detector.The surface of a body is illuminated with the light source and imaged on the sensitive surface of the detector.According to the relationship between the body and its image,the deviation of the body can be calculated.The measurement accuracy of the deviation depends on the position discriminativity.In our system,the position discriminativity of the detector is 2 micron,the measurement error is less than 5 micron.
- position sensitive detector /
- non-contact measurement /
- triangulation measurement principle

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