用透射光谱和模拟退火算法确定薄膜光学常数

刘细成; 王植恒; 廖清君; 赖成军

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用透射光谱和模拟退火算法确定薄膜光学常数

刘细成 , 王植恒 , 廖清君 , 赖成军

文章导航 > 激光技术 > 2003 > 27(2): 94-96,112

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用透射光谱和模拟退火算法确定薄膜光学常数

1.
四川大学物理学院, 成都, 610064

作者简介: 刘细成,男,1975年7月出生.硕士研究生.主要从事光电信号处理方面的研究..

中图分类号: O484.32

Determination of optical constants of thin films by means of transmission spectra and simulated annealing algorithm

1.
Physcis of Department, Sichuan University, Chengdu, 610064
CLC number: O484.32

摘要: 提出了用透射光谱曲线和模拟退火算法同时确定薄膜材料折射率n、消光系数k及薄膜厚度d的方法,并给出了严格的理论公式和计算程序框架图。为了验证此方法的准确性和可行性,先进行了计算模拟,然后对SiNx薄膜进行了测量。模拟结果与理论值非常接近,根据实验结果恢复出来的曲线与原始实验曲线吻合得很好。此方法具有非破坏性、测量简单、操作方便、稳定性好和计算收敛速度快、精度高等特点。
- 透射光谱 /
- 模拟退火 /
- 薄膜 /
- 光学常数
Abstract: A method is proposed to determinate the reflective,extinction coefficient and thickness of thin film material at the same time by means of transmission spectral and simulated annealing algorithm.The strict calculating formula and program diagram are provided.To check the accuracy and feasibility of the method,numerical simulation is first done,and then the SiNx thin films are tested.Simulated results are highly closed to theoretical values,and reproduced curve in terms of the experimental results conforms to initial experimental curve.This method has a lot of advantages such as no damage,simplicity of measurement,facility of manipulation,good stability,fast convergence and high accuracy.
- transmission spectra /
- simulated annealing /
- thin film /
- optical constant

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用透射光谱和模拟退火算法确定薄膜光学常数

作者简介: 刘细成,男,1975年7月出生.硕士研究生.主要从事光电信号处理方面的研究.

1. 四川大学物理学院, 成都, 610064

收稿日期: 2002-06-11
录用日期: 2002-08-26
网络出版日期: 2003-03-25

关键词:

摘要: 提出了用透射光谱曲线和模拟退火算法同时确定薄膜材料折射率n、消光系数k及薄膜厚度d的方法,并给出了严格的理论公式和计算程序框架图。为了验证此方法的准确性和可行性,先进行了计算模拟,然后对SiNx薄膜进行了测量。模拟结果与理论值非常接近,根据实验结果恢复出来的曲线与原始实验曲线吻合得很好。此方法具有非破坏性、测量简单、操作方便、稳定性好和计算收敛速度快、精度高等特点。