射频激光对氧化铝陶瓷基片划片的研究

侯廉平; 陈培峰; 陈清明

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射频激光对氧化铝陶瓷基片划片的研究

侯廉平 , 陈培峰 , 陈清明

文章导航 > 激光技术 > 2003 > 27(4): 352-356

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射频激光对氧化铝陶瓷基片划片的研究

1.
华中科技大学激光技术与工程研究院, 武汉, 430074

作者简介: 侯廉平,男,1969年1月出生.硕士.现主要从事激光光学及其应用研究..

中图分类号: TN249;TG665

Study on laser scribing of Al2O3 ceramic substrate with RF CO2 laser

1.
Institute of Laser Technology & Engineering, HUST, Wuhan, 430074
CLC number: TN249;TG665

摘要: 分析了RFCO2激光陶瓷基板划片的机理及工艺参数选择的原则。通过数值模拟和实验,分析了脉冲频率、脉冲宽度、划片速度、辅助气压大小、离焦量等工艺参数对激光划片质量的影响。
- RFCO2激光器 /
- 划片 /
- 氧化铝陶瓷基片 /
- 数值模拟
Abstract: The mechanism of scribing ceramic substrate with RF CO2 laser and fundamental choice law of technical parameters are analyzed.Through numerical simulation and experiment,the influences of factors such as frequency of pulse,pulse width,scribing speed,pressure of assistant air on the quality of laser scribing are investigated.

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