灰度掩模制作系统掩模图形的生成及工艺研究

杨智; 戴一帆; 颜树华

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灰度掩模制作系统掩模图形的生成及工艺研究

杨智 , 戴一帆 , 颜树华

文章导航 > 激光技术 > 2004 > 28(4): 406-409

引用本文:

Citation:

灰度掩模制作系统掩模图形的生成及工艺研究

1.
国防科技大学, 机电工程与自动化学院, 长沙, 410073

作者简介: 杨智(1978- ),男,博士研究生,现主要从事微光机电方面的研究.E-mail:sun8_1@163.com.

基金项目:
国家自然科学基金资助项目(50005022)
中图分类号: TN305.7

Manufacturing system for gray-scale masks’ mask patterns’ making and technique study

1.
College of Mechatronics Engineering and Automation, National University of Defense Technology, Changsha 410073, China
CLC number: TN305.7

摘要: 灰度掩模法是目前正在积极探索的一种二元光学器件制作方法。从基于空间光调制器的灰度掩模制作方法出发,就“掩模图形的生成”和“工艺”这两个难点问题进行了深入的研究,并具体地制作了几种常用的二元光学器件的灰度掩模,为该方法进一步投入实用提供了一条较好的思路。
- 空间光调制器 /
- 灰度掩模 /
- 工艺 /
- 二元光学
Abstract: Gray-scale mask method is an active groping facture idea of binary optics at present.For more utility,some difficult questions such as mask patterns' making and technique are being studied in-depth based on the manufacturing method for gray-scale masks using special light modulator.At the same time,some gray-scale masks of normal binary optical elements have been actually fabricated.
- spatial light modulator /
- gray-scale mask /
- manufacture technics /
- binary optics

[1]	金国藩,严瑛白,邬敏贤 et al.二元光学 [M].北京:国防工业出版社,1998.298～335.
[2]	MICHAEL R W,SU H.Laser direct-write gray-level mask and one-step etching for diffractive microlens fabrication [J].Appl Opt,1998,37(32):7568～7576.
[3]	REIMER K,QUENZER H J.Micro-optic fabrication using one-level gray-tone lithography [J].SPIE,1997,3008:279～288.
[4]	DONALD C O,WILLIE S R.Gray-scale masks for diffractive-optics fabrication:Ⅱ Spatially filtered halftone screens [J].Appl Opt,1995,34(32):7518～7526.
[5]	颜树华,戴一帆,吕海宝 et al.基于空间光调制器的灰度掩模制作系统 [J].中国激光,2004,31(1):45～47.
[6]	章毓晋.图像工程(上册)-图像处理和分析 [M].北京:清华大学出版社,1999.43～50.
[7]	吴若薇.制版感光材料 [M].北京:印刷工业出版社,1989.179～217,235～242.

[1]	张中华 , 陈建新 , 王骐 , 铁艳霞 , 尚铁良 . 二元光学技术在激光成像雷达扫描器上的应用. 激光技术, 2001, 25(2): 126-129.
[2]	汪慧超 , 胡阿健 , 陈培锋 . 空间光调制器产生拉盖尔-高斯光束方法研究. 激光技术, 2017, 41(3): 447-450. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2017.03.028
[3]	林超 , 沈学举 , 杨胜翔 . 空间光调制器实现随机相位模板的仿真分析. 激光技术, 2013, 37(3): 365-370. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.03.022
[4]	殷功杰 , 薛鸣球 . 二元光学衍射透镜波象差分析. 激光技术, 1997, 21(1): 38-43.
[5]	袁惠 , 周进 , 谈苏庆 . 计算层析成像光谱仪中二元光学元件的研究. 激光技术, 2001, 25(2): 112-115.
[6]	刘燕燕 , 姜凤贤 , 侯佳鹏 , 周宁 , 武海生 . 带状光纤多波长阵列光栅刻写工艺研究. 激光技术, 2015, 39(4): 484-487. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2015.04.012
[7]	邹湘军 , 樊湘芳 , 石世宏 , 娄燕 , 周荣安 . 圆片冲头零件激光淬火工艺实验. 激光技术, 2002, 26(1): 68-70.
[8]	陶向阳 , 周南润 , 吕百达 . 用HIO算法研究光束的空间整形. 激光技术, 2002, 26(6): 463-465.
[9]	易治明 , 赵达尊 . 一种通用的辐射聚焦器优化设计方案. 激光技术, 1994, 18(1): 31-33.
[10]	于远航 , 王文生 . 折衍混合紫外告警光学系统设计. 激光技术, 2012, 36(3): 421-423,427.
[11]	朱海宇 , 马军 , 张鸿佳 , 王文生 . 刑侦日盲紫外折衍混合变焦光学系统设计. 激光技术, 2015, 39(2): 242-246. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2015.02.021
[12]	李琦 , 王骐 , 高惠德 . 输入光束光斑半径变化对BOE整形环的影响. 激光技术, 2002, 26(1): 35-37,40.
[13]	张新平 , 董丽萍 , 张保华 . 二元矩形位相光栅用于高斯光束的空间整形. 激光技术, 1995, 19(2): 74-79.
[14]	毛仕春 , 李国华 . 二元双折射晶体复合光退偏性能的研究. 激光技术, 2007, 31(2): 209-212,216.
[15]	邝能俊 , 张德沛 , 陈美锋 , 李又生 . 灯泵浦二元染料激光器实验研究. 激光技术, 1990, 14(2): 17-21.
[16]	宋师霞 , 宋连科 . 二元复合波片退偏器的研究. 激光技术, 2009, 33(6): 654-656. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2009.06.027
[17]	周云燕 , 杨坤涛 . 二元微分联合变换相关器实现图像识别的研究. 激光技术, 2007, 31(6): 603-606.
[18]	于祖兰 . Semetex公司接受研制空间光调制器合同. 激光技术, 1989, 13(2): 39-39.
[19]	周杰 , 徐满平 , 杨齐民 . 全息拍摄中二元光学元件的应用. 激光技术, 2005, 29(5): 525-527.
[20]	李琦 , 高惠德 , 董蕴华 , 申作春 , 王骐 . 整形二元光学元件衍射效率的研究. 激光技术, 2000, 24(1): 30-33.