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反射率测量技术研究的进展

易亨瑜 吕百达

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反射率测量技术研究的进展

    作者简介: 易亨瑜(1969- ),男,硕士,高级工程师,现从事光学检测技术的研究.E-mail:yihengyu1@sina.com.
  • 中图分类号: TN247

The advance of techniques of reflectivity measurement

  • CLC number: TN247

  • 摘要: 阐述了反射率测量中的几种典型方法,并根据测量原理将它们分成了两大类。一类是根据检测光束在待测样品上的反射次数的(单)多次反射法;另一类是基于谐振腔特性的测量方法。以相对误差或测量精度作为设计的评价标准,论述和分析了各种技术的测量原理及其优缺点,介绍了国内外反射率测量技术的发展现状及其目前的技术水平。对测量技术的发展方向进行了剖析,提出一些影响测量精度的问题。
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-09-30
  • 录用日期:  2003-11-18
  • 刊出日期:  2004-09-25

反射率测量技术研究的进展

    作者简介: 易亨瑜(1969- ),男,硕士,高级工程师,现从事光学检测技术的研究.E-mail:yihengyu1@sina.com
  • 1. 四川大学, 激光物理与化学研究所, 成都, 610064;
  • 2. 中国工程物理研究院, 应用电子学研究所, 绵阳, 621900

摘要: 阐述了反射率测量中的几种典型方法,并根据测量原理将它们分成了两大类。一类是根据检测光束在待测样品上的反射次数的(单)多次反射法;另一类是基于谐振腔特性的测量方法。以相对误差或测量精度作为设计的评价标准,论述和分析了各种技术的测量原理及其优缺点,介绍了国内外反射率测量技术的发展现状及其目前的技术水平。对测量技术的发展方向进行了剖析,提出一些影响测量精度的问题。

English Abstract

参考文献 (1)

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