1.06μm连续激光辐照TiO2/SiO2薄膜元件的损伤效应研究

周维军; 袁永华; 张大勇; 桂元珍; 江继军

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1.06μm连续激光辐照TiO2/SiO2薄膜元件的损伤效应研究

周维军 , 袁永华 , 张大勇 , 桂元珍 , 江继军

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1.06μm连续激光辐照TiO2/SiO2薄膜元件的损伤效应研究

1.
中国工程物理研究院, 流体物理研究所, 绵阳, 621900

作者简介: 周维军(1979- ),男,硕士研究生,主要从事激光对抗以及激光与材料相互作用研究..

通讯作者: 袁永华, yuanyh7693@sina.com ;

中图分类号: O484.5

Research on damage of TiO2/SiO2film induced-by 1.06μm CW laser

1.
Institute of Fluid Physics, CAEP, Mianyang 621900, China

Corresponding author: YUAN Yong-hua, yuanyh7693@sina.com ;

CLC number: O484.5

摘要: 用1.06μm连续激光辐照TiO2/SiO2薄膜元件,在不同强度下测量了激光辐照TiO2/SiO2薄膜元件引起反射信号幅度随时间的变化,并观察到薄膜从基体材料表面起泡、膜层脱落的现象.研究结果表明,TiO2/SiO2薄膜的反射光信号变化是连续激光辐照薄膜元件产生的热效应引起的;在激光辐照过程中,薄膜元件基体材料产生的热变形差别是基体起泡、脱落的主要原因.
- 连续激光 /
- 薄膜 /
- 热效应 /
- 损伤效应
Abstract: When TiO2/SiO2film is irradiated by difterent 1.06μm CW-Nd:YAG laser radiation,the time history of the signal reflected from the TiO2/SiO2film is measured till a number of foam and pull-off phenomenon on the TiO2/SiO2film surface is observed.The test results indicate the variation of the reflected signal is caused by thermal effect due to laser irradiation and during the laser irradiation,the difference of thermal deformation of the TiO2/SiO2film and substrate is the main cause of the foam and pull-off phenomenon.
- CW laser /
- thin film /
- thermal effect /
- damage effect

[1]	GAO Zh Y,GAO Y,ZHANG K H.Military photo electricity system[M].Beijing:Beijing Institute of Science and Technology Press,1996.7(in Chinese).
[2]	LI Zh Y,LI F Ch,GUO J P et al.Wavelength effects on laser induced optical thin film damage[J].Chinese Journal of Lasers,1991,18(1):31～33(in Chinese).
[3]	HU J P,CHEN M,FU X Y et al.Relation between and defects of HfO2/SiO2HR coating[J].High Power Laser and Particle Beams,2001,13(5):529～532(in Chinese).
[4]	LI Zh Y,DENG H,FANG Zh X.1.06μm laser-induced damage of Ti,Zr thin-film optical coating[J].Chinese Journal of Lasers,1988,16(7):413～416(in Chinese).
[5]	PAN Y J,FENG J.Damage mechanism of optical films by high-power laser[J].Semiconductor Optoelectronics,1997,18(1):62～65(in Chinese).
[6]	XIA J J,LI Zh Y,CHENG L.532nm laser induced damage to optical film[J].Laser Technology,1996,20(3):378～379(in Chinese).
[7]	SUN Ch W.Laser irradiation effect[M].Beijing:National Defense Industry Press,2002.310～312(in Chinese).

[1]	邱冬冬 , 王睿 , 程湘爱 , 孙永江 . 连续激光对太阳能电池辐照效应的波段性研究. 激光技术, 2011, 35(5): 632-635,683. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.05.016
[2]	李玉瑶 , 张婉怡 , 刘喆 , 李美萱 , 付秀华 . S-on-1测量方式下薄膜激光损伤的累积效应. 激光技术, 2018, 42(1): 39-42. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2018.01.008
[3]	高俊超 , 朱长虹 , 李正佳 . 固态激光介质的热效应与光泵浦极限研究. 激光技术, 2004, 28(3): 271-274.
[4]	李隆 , 史彭 , 李东亮 , 甘安生 , 白晋涛 . 高功率CO2激光器输出窗热效应的研究. 激光技术, 2004, 28(5): 510-513.
[5]	陈子伦 , 马厉克 , 姜宗福 , 曹涧秋 . LD端面抽运激光介质热效应的有限元分析. 激光技术, 2005, 29(5): 543-545.
[6]	冯祝 , 万云芳 . LD端面抽运Nd：GGG激光器热效应研究. 激光技术, 2014, 38(3): 360-363. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2014.03.016
[7]	冯杰 , 范宗学 , 单常亮 , 魏欣芮 , 吴琴 , 杨永佳 , 周自刚 . 基于热效应飞秒激光诱导LiNbO3表面结构的研究. 激光技术, 2015, 39(6): 869-872. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2015.06.029
[8]	李隆 , 董武威 , 史彭 , 甘安生 , 许启明 . 高功率Yb：YAG微片激光器热效应研究. 激光技术, 2010, 34(1): 8-12. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2010.01.003
[9]	赵臻 , 龙芋宏 , 黄宇星 , 张光辉 , 周辽 , 蔺泽 , 焦辉 , 黄平 . 水束导引高功率激光的热效应分析. 激光技术, 2023, 47(5): 672-677. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2023.05.015
[10]	陈子伦 , 侯静 , 姜宗福 . 高功率掺镱双包层光纤激光器热效应理论研究. 激光技术, 2007, 31(5): 544-547,550.
[11]	黄云火 , 黄磊 , 张海涛 , 柳强 , 闫平 , 巩马理 . 水柱导引抽运光纤激光器端面热效应分析. 激光技术, 2009, 33(3): 225-227.
[12]	徐仰彬 , 凌亚文 . 复合YVO4-Nd：YVO4激光晶体的超高斯热效应研究. 激光技术, 2009, 33(1): 80-82.
[13]	熊征 , 曾晓雁 . 化学反应热效应对激光熔凝区几何特征的影响. 激光技术, 2007, 31(5): 462-464,468.
[14]	崔莉军 , 陈星明 , 杨美霞 , 代俊 , 刘文兵 , 黄守彬 . 高能激光系统中不同材料合束镜的热效应分析. 激光技术, 2024, 48(2): 159-165. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2024.02.003
[15]	胡席远 , 胡伦骥 , 熊建钢 , 刘建华 , 骆红 , 陈祖涛 . 激光焊接中聚焦透镜热效应研究. 激光技术, 1998, 22(3): 188-190.
[16]	樊红英 , 张浩 , 赵琦 , 蒋泽伟 , 贾静 , 陈好 . 基于H-S波前传感器的高能激光材料热效应参量测试. 激光技术, 2018, 42(2): 201-205. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2018.02.012
[17]	陈星 , 葛亚琼 . Zr₆₅Al_7.5Ni₁₀Cu_17.5非晶合金激光熔凝的热效应模拟. 激光技术, 2020, 44(2): 202-205. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2020.02.011
[18]	李勇 , 张辉 , 周小芳 , 张鹏翔 . 氧压对Zn1-xAlxO薄膜结构的影响及激光感生电压效应. 激光技术, 2011, 35(1): 130-132,140. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.01.035
[19]	刘建华 , 王又青 , 陈清明 , 陈一坚 , 李再光 , 段军 , 胡席远 . 同轴射频激励CO2激光器的热效应研究. 激光技术, 2001, 25(1): 54-59.
[20]	王德良 , 赵刚 , 路英宾 , 高剑波 , 陈德章 , 刘韵 , 卿光弼 , 古鸿仁 . 固体激光热致退偏效应的一种补偿方法. 激光技术, 2008, 32(6): 561-562,571.

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1.06μm连续激光辐照TiO2/SiO2薄膜元件的损伤效应研究

通讯作者: 袁永华, yuanyh7693@sina.com;

作者简介: 周维军(1979- ),男,硕士研究生,主要从事激光对抗以及激光与材料相互作用研究.

1. 中国工程物理研究院, 流体物理研究所, 绵阳, 621900

收稿日期: 2004-10-18
录用日期: 2004-12-13
网络出版日期: 2006-01-25

关键词:

摘要: 用1.06μm连续激光辐照TiO2/SiO2薄膜元件,在不同强度下测量了激光辐照TiO2/SiO2薄膜元件引起反射信号幅度随时间的变化,并观察到薄膜从基体材料表面起泡、膜层脱落的现象.研究结果表明,TiO2/SiO2薄膜的反射光信号变化是连续激光辐照薄膜元件产生的热效应引起的;在激光辐照过程中,薄膜元件基体材料产生的热变形差别是基体起泡、脱落的主要原因.