石英玻璃薄板激光精密切割技术

袁明权; 凌宏芝; 彭勃

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石英玻璃薄板激光精密切割技术

袁明权 , 凌宏芝 , 彭勃

文章导航 > 激光技术 > 2006 > 30(4): 406-408

引用本文:

Citation:

石英玻璃薄板激光精密切割技术

1.
中国工程物理研究院, 电子工程研究所, 绵阳, 621900

作者简介: 袁明权(1972- ),男,工学硕士,助理研究员,目前主要从事惯性传感器与MEMS技术研究工作.E-mail:mq_yuan@163.com.

基金项目:
国防科技"十五"预研基金重点资助项目(421010401)
中图分类号: TG485;TN249

Precision laser cutting technique for thin quartz glass plates

1.
Institute of Electronic Engineering, China Academy of Engineering Physics, Mianyang 621900, China
CLC number: TG485;TN249

摘要: 为了实现石英玻璃薄板的激光精密切割,对石英玻璃薄板激光切割原理进行了探讨,提出了依照材料光学透过率特性来选择激光切割用激光源的方法.通过对材料光学透过率的特性分析可以得知,用来切割石英玻璃的激光源波长应在5μm～20μm范围内.对石英玻璃薄板的激光精密切割进行了实验验证,实验结果表明,激光精密切割技术能够较好地运用于石英玻璃薄板的精密切割加工中,其加工精度优于20μm、中心对称度小于μm.这一结果和激光源选择方法对石英材料激光精密加工技术研究及其设备研制是有帮助的.
- 激光技术 /
- 激光精密切割 /
- 石英玻璃薄板 /
- 光学吸收率
Abstract: For laser cutting thin quartz glass plates precisely,its principle is discussed,how to choose laser cutting equipment is introduced according to the quartz glass' optical transmissivity,i.e.,the laser's wave length should be in 5μm～20μm for laser cutting application.The specimen laser cutting experiments show that it is feasible to cut thin quartz glass plates pricisely with laser cutting technique with accuracy of better than 20μm and central symmetry of less than 3μm.The experimental results and choosing method are helpful for precision quartz laser cutting application and development of laser cutting equipment.
- laser technique /
- precision laser cutting /
- thin quartz glass plates /
- optical absorptivity

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石英玻璃薄板激光精密切割技术

作者简介: 袁明权(1972- ),男,工学硕士,助理研究员,目前主要从事惯性传感器与MEMS技术研究工作.E-mail:mq_yuan@163.com

1. 中国工程物理研究院, 电子工程研究所, 绵阳, 621900

收稿日期: 2005-07-16
录用日期: 2006-01-05
网络出版日期: 2006-07-25

基金项目: 国防科技"十五"预研基金重点资助项目(421010401)

关键词:

摘要: 为了实现石英玻璃薄板的激光精密切割,对石英玻璃薄板激光切割原理进行了探讨,提出了依照材料光学透过率特性来选择激光切割用激光源的方法.通过对材料光学透过率的特性分析可以得知,用来切割石英玻璃的激光源波长应在5μm～20μm范围内.对石英玻璃薄板的激光精密切割进行了实验验证,实验结果表明,激光精密切割技术能够较好地运用于石英玻璃薄板的精密切割加工中,其加工精度优于20μm、中心对称度小于μm.这一结果和激光源选择方法对石英材料激光精密加工技术研究及其设备研制是有帮助的.