基板材料对光学薄膜近红外激光损伤阈值的影响

吴周令; 范正修; 高扬; 王之江

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基板材料对光学薄膜近红外激光损伤阈值的影响

吴周令 , 范正修 , 高扬 , 王之江

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基板材料对光学薄膜近红外激光损伤阈值的影响

1.
中国科学院上海光机所上海;
2.
上海应用机械研究所上海

作者简介: 吴周令,男,1964年11月2日出生.博士.现从事薄膜光学激光与材料相互作用、光声/光热光谱学以及光学信态处理等方面的研究工作..

Damage threshold dependence of optical coatings on substrate materials

1.
Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Academia Sinica;
2.
Shanghai Institute of Applied Mechanics

摘要: 以电子束及电阻热蒸发镀制的TiO2、ZrO2、SiO2、MgF2、ZnS等单层膜及TiO2/SiO2多层膜为例,实验研究了熔石英(SiO2)、蓝宝石(Al2O3)以及氟化钙(CaF2)等不同基板材料对光学薄膜近红外激光损伤阈值的影响,结果发现,对单层膜及增透膜,基板材料对损伤阈值有较为显著的影响,其一般规律是阈值随基板热导率的提高而提高,而对高反膜,基板材料则无甚影响。文章结合体/面吸收研究以及损伤瞬态行为分析,用局部吸收导致热破坏这一机理,较好地解释了上述现象。
Abstract: Damage threshold dependence on substrate materials was investigated of TiO2,ZrO2,SiO2,MgF2,ZnS single and TiO2/SiO2 multilayers.The results show that the damage threshold increases with increasing substrate thermal conductivity for single layers and AR coatings and remains the same for HR coatings.With the help of localized absorption measurement and in-situ damage process analysis,these phenomena were well correlated with local-absorption-initiated thermal damage mechanism.

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基板材料对光学薄膜近红外激光损伤阈值的影响

作者简介: 吴周令,男,1964年11月2日出生.博士.现从事薄膜光学激光与材料相互作用、光声/光热光谱学以及光学信态处理等方面的研究工作.

1. 中国科学院上海光机所上海;
2. 上海应用机械研究所上海

收稿日期: 1989-11-06
网络出版日期: 1990-05-25

摘要: 以电子束及电阻热蒸发镀制的TiO2、ZrO2、SiO2、MgF2、ZnS等单层膜及TiO2/SiO2多层膜为例,实验研究了熔石英(SiO2)、蓝宝石(Al2O3)以及氟化钙(CaF2)等不同基板材料对光学薄膜近红外激光损伤阈值的影响,结果发现,对单层膜及增透膜,基板材料对损伤阈值有较为显著的影响,其一般规律是阈值随基板热导率的提高而提高,而对高反膜,基板材料则无甚影响。文章结合体/面吸收研究以及损伤瞬态行为分析,用局部吸收导致热破坏这一机理,较好地解释了上述现象。