激光化学气相沉积技术在掩模版修复中的应用

黄河; 朱晓; 朱长虹; 朱广志; 李跃松; 张沛; 万承华

高级检索

ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

激光化学气相沉积技术在掩模版修复中的应用

黄河 , 朱晓 , 朱长虹 , 朱广志 , 李跃松 , 张沛 , 万承华

文章导航 > 激光技术 > 2007 > 31(3): 330-332

引用本文:

Citation:

激光化学气相沉积技术在掩模版修复中的应用

1.
华中科技大学, 激光工程研究院, 武汉, 430074;
2.
清溢精密光电有限公司, 深圳, 518000

作者简介: 黄河(1982- ),男,硕士研究生,研究方向是激光化学气相沉积技术在掩模版修复中的应用..

通讯作者: 朱晓, zx@hust.edu.cn ;

中图分类号: TQ034

Laser chemical vapor deposition used in photomask repair

1.
Institute of Laser Technology and Engineering, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China;
2.
Qingyi Precision Maskmaking LTD., Shenzhen 518000, China

Corresponding author: ZHU Xiao, zx@hust.edu.cn ;

CLC number: TQ034

摘要: 为了对光掩模版亮场缺陷进行修补,采用激光化学气相沉积的方法,利用功率密度为1.3×108W/cm2的55nm紫外激光诱导Cr(CO)6分解,在1.5s内获得了光掩模亮场区域附着力强、消光比高的金属Cr膜.结果表明,在开放的环境下,采用高功率密度、短作用时间的方法能够得到高质量的沉积薄膜,满足了微电子行业中对掩模版修复的要求.
- 激光技术 /
- 光化学 /
- 光掩模修复 /
- 激光化学气相沉积 /
- 开放式
Abstract: In order to repair the clear defects of photomask,a 355nm UV laser with the intensity of 1.3×108W/cm2 is used to induce hexacarbonyls chrome photolysis in the open air,and get the Cr film with good adhesion and extinction on transparent substrate.Results show that,in the open air,the method with high intensity and short radiation time can get high quality film.
- laser technique /
- photochemistry /
- photomask repair laser /
- induced chemical vapor deposition(LCVD) /
- open air

[1]	FENG B.Photomask laser repair technologies[J].Microfabrication Technology,1994(4):7～17(in Chinese).
[2]	NANAI L,KORDAS K,BALI K.Laser induced liquid phase deposition(LCLD);the state of art[J].SPIE,2001,4157:228～248.
[3]	CHEN C H,LIU J G.The mechanism of CO2 laser-induced metal deposition from aqueous solution[J].Laser Technology,2005,29(4):383～385(in Chinese).
[4]	CHEN C H,ZHENG J Sh,LIU J G et al.Research of CO2 laser induced metal deposition from aqueous solution[J].Plating and Surface Finishing,2003,90(5):84～90.
[5]	LYDTIN H,WILDEN R.Depositing materials by laser aided technique[J].Metals and Materials,1973,7(4):159～60.
[6]	MAZUMDER J,ALLEN S D.Laser chemical vapor deposition of titanium carbide[J].Proceedings of the Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers,1979,198:73～80.
[7]	DUTY C E.Design,operation,and heat and mass transfer analysis of a gas-jet laser chemical vapor deposition system[D].Georgia:Georgia Institute of Technology,2001.5～6.
[8]	GUY B Z,NIKOLAY G,VLADIMIR D et al.Photomask clear defects repair using ultrafast laser technology[J].Proc SPIE,2004,5446:357～363.
[9]	HAIGHT R A,LONGO P P,WAGNER A.Method and apparatus for performing laser CVD[P].U S Patent:6656539B1,2003-12-02.
[10]	DROZDOWICZ Z,STONE H,VOGLER J.Photolithographic mask repair system[P].U S Patent:4778693,1988-10-18.

[1]	陈永庆 , 张陈涛 , 张建寰 . 激光化学气相沉积石墨烯的基底温度场仿真. 激光技术, 2015, 39(5): 648-653. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2015.05.013
[2]	季国顺 , 张永康 . 激光抛光化学气相沉积金刚石膜. 激光技术, 2003, 27(2): 106-109.
[3]	袁加勇 , 陈钰清 , 王颖 . CO2激光化学气相沉积a-Si：H薄膜. 激光技术, 1991, 15(3): 166-171.
[4]	明长江 . 激光化学及其应用成就. 激光技术, 1991, 15(4): 210-214.
[5]	丁瑞堂 , 孙树峰 , 刘庆玉 , 邵晶 . 激光化学复合抛光工艺参量对304不锈钢性能的影响. 激光技术, 2019, 43(3): 295-300. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2019.03.002
[6]	王平江 , 吴浩 , 陈吉红 , 唐小琦 . 动光式激光切割无缝拼接技术的研究与应用. 激光技术, 2009, 33(4): 369-373. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2009.04.010
[7]	姜雨佳 , 张朝阳 , 黄磊 , 聂昕 , 刘皋 . 激光热力强化电化学沉积试验研究. 激光技术, 2016, 40(5): 660-664. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.05.009
[8]	侯占杰 , 唐星 , 罗穆伟 , 王振 , 李运波 , 朱玉斌 . 激光诱导化学液相沉积Fe膜的研究. 激光技术, 2016, 40(1): 136-140. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.01.030
[9]	童卫红 , 江东 , 周鼎富 , 杨泽后 , 陈涌 , 孙鹏 , 陈云亮 , 陈亦庆 . 化学气体CO2差分吸收激光雷达告警技术的研究. 激光技术, 2007, 31(5): 479-482.
[10]	张伟杰 , 刘立君 , 张红兴 . 基于图像形态学激光模具裂纹修复技术研究. 激光技术, 2016, 40(2): 189-194. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.02.008
[11]	刘兵 , 陶炜 , 柯尊贵 , 冯力天 , 袁菲 , 李晓峰 . 相干激光雷达平衡式相干探测技术研究. 激光技术, 2015, 39(1): 46-49. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2015.01.009
[12]	张翔 , 龚心弦 , 丁亚茜 , 王小音 , 金操帆 . 基于嵌入式技术的可控光纤激光脉冲光源. 激光技术, 2016, 40(5): 711-715. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.05.019
[13]	尹国福 , 鲁建存 , 刘彦义 , 贺爱峰 , 曹椿强 . 激光起爆系统光路完整性检测技术研究. 激光技术, 2011, 35(4): 554-558. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.04.028
[14]	张光辉 , 黄宇星 , 黄平 , 周辽 , 焦辉 , 龙芋宏 . 水导激光技术中水-光耦合传能规律研究. 激光技术, 2022, 46(6): 749-754. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2022.06.006
[15]	赵兴海 , 高杨 , 程永生 . 激光点火技术综述. 激光技术, 2007, 31(3): 306-310,313.
[16]	胡增荣 , 童国权 , 陈长军 , 郭华锋 , 周亮 , 徐家乐 . 激光纳米表面工程技术. 激光技术, 2014, 38(6): 764-770. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2014.06.009
[17]	龙芋宏 , 熊良才 , 史铁林 , 柳海鹏 . 准分子激光电化学刻蚀硅的刻蚀质量研究. 激光技术, 2006, 30(3): 235-237.
[18]	毛卫平 , 丁伟 , 张朝阳 , 曾永彬 , 秦昌亮 . 激光电化学复合加工的冲击空化检测及试验. 激光技术, 2014, 38(6): 753-758. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2014.06.007
[19]	李兴成 , 张永康 . 激光冲击次数对镁合金电化学特性的影响. 激光技术, 2015, 39(4): 466-470. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2015.04.008
[20]	崔开放 , 钟良 , 龚伟 , 代竟雄 . 陶瓷表面激光无钯活化及其化学镀镍. 激光技术, 2018, 42(5): 622-626. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2018.05.008

点击查看大图

计量

文章访问数: 3378
HTML全文浏览量: 653
PDF下载量: 410
被引次数: 0

激光化学气相沉积技术在掩模版修复中的应用

通讯作者: 朱晓, zx@hust.edu.cn;

作者简介: 黄河(1982- ),男,硕士研究生,研究方向是激光化学气相沉积技术在掩模版修复中的应用.

1. 华中科技大学, 激光工程研究院, 武汉, 430074;
2. 清溢精密光电有限公司, 深圳, 518000

收稿日期: 2006-03-06
录用日期: 2006-09-29
网络出版日期: 2007-06-25

关键词:

摘要: 为了对光掩模版亮场缺陷进行修补,采用激光化学气相沉积的方法,利用功率密度为1.3×108W/cm2的55nm紫外激光诱导Cr(CO)6分解,在1.5s内获得了光掩模亮场区域附着力强、消光比高的金属Cr膜.结果表明,在开放的环境下,采用高功率密度、短作用时间的方法能够得到高质量的沉积薄膜,满足了微电子行业中对掩模版修复的要求.