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3孔预准直后铬原子束横向位置分布仿真

张宝武 马艳 张萍萍

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3孔预准直后铬原子束横向位置分布仿真

    作者简介: 张宝武(1978- ),男,博士,讲师,研究方向为原子光刻技术.E-mail:zhangbaowu1978@gmail.com.
    通讯作者: 张宝武, zhangbaowu1978@gmail.com
  • 基金项目:

    清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室开放基金资助项目(DL-003);上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室开放基金资助项目(ammt2011A-3);浙江省科技厅科技计划资助项目(2011R10094)

  • 中图分类号: O43

Simulation of transverse position distributions of Cr atomic beam pre—collimated by three apertures

    Corresponding author: ZHANG Bao-wu, zhangbaowu1978@gmail.com ;
  • CLC number: O43

  • 摘要: 为了研究52Cr原子以外其它同位素对铬原子束横向位置分布的影响,采用蒙特卡罗方法对3孔预准直狭缝条件下的1维激光冷却进行了理论分析。由分析可知,在区分52Cr原子和其它同位素条件下,原子束横向位置分布的基底会有所增加,每一部分原子束的特征值也有明显的变化,中心部分原子束中心最大值有9.5%的降低,半峰全宽有2.9%的增加;两侧每一部分原子束的中心最大值有25%的增加,半峰全宽略有增宽。结果表明,其它同位素的区分与否对中心部分原子束的中心最大值和半峰全宽影响很小。
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出版历程
  • 收稿日期:  2011-08-23
  • 录用日期:  2011-09-07
  • 刊出日期:  2012-05-25

3孔预准直后铬原子束横向位置分布仿真

    通讯作者: 张宝武, zhangbaowu1978@gmail.com
    作者简介: 张宝武(1978- ),男,博士,讲师,研究方向为原子光刻技术.E-mail:zhangbaowu1978@gmail.com
  • 1. 中国计量学院 计量测试工程学院 杭州 310018;
  • 2. 清华大学 精密测试技术及仪器国家重点实验室 北京 100084;
  • 3. 同济大学 上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室 上海 200092
基金项目:  清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室开放基金资助项目(DL-003);上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室开放基金资助项目(ammt2011A-3);浙江省科技厅科技计划资助项目(2011R10094)

摘要: 为了研究52Cr原子以外其它同位素对铬原子束横向位置分布的影响,采用蒙特卡罗方法对3孔预准直狭缝条件下的1维激光冷却进行了理论分析。由分析可知,在区分52Cr原子和其它同位素条件下,原子束横向位置分布的基底会有所增加,每一部分原子束的特征值也有明显的变化,中心部分原子束中心最大值有9.5%的降低,半峰全宽有2.9%的增加;两侧每一部分原子束的中心最大值有25%的增加,半峰全宽略有增宽。结果表明,其它同位素的区分与否对中心部分原子束的中心最大值和半峰全宽影响很小。

English Abstract

参考文献 (16)

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