小型化准分子激光器气体性能的优化

邓国庆; 刘勇; 贺龙海; 崔卫华

doi:10.3969/j.issn.1001-3806.2010.04.026

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小型化准分子激光器气体性能的优化

邓国庆 , 刘勇 , 贺龙海 , 崔卫华

文章导航 > 激光技术 > 2010 > 34(4): 529-531,551

引用本文:

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小型化准分子激光器气体性能的优化

1.
中国科学院安徽光学精密机械研究所准分子激光实验室合肥 230031

作者简介: 邓国庆(1976- ),男,副研究员,主要从事准分子激光技术及应用方面的研究.E-mail:dgq@aiofm.ac.cn.

中图分类号: TN248.2

Optimization of gas performance of the compact excimer laser

1.
Laboratory for Excimer Laser, Anhui Institute of Optics and Fine Mechanics, Chineses Academy of Sciences, Hefei 230031, China
CLC number: TN248.2

摘要: 对于新研制的准分子激光系统而言,激光气体的性能具有非常重要的作用,激光系统的混合气体配比与单脉冲能量、放电稳定性和寿命等性能参量有密切关系。为了获得最佳气体配比,在自行研制的小型化Xecl准分子激光器的基础上进行了激光气体性能优化实验,分析了Xe,HCl气体比例对激光性能的影响,通过理论分析和实验结果给出了Ne和He两种不同缓冲气体下的激光性能差异,并给出了该激光系统的优化气体成分和有效提高激光效率方法。实验结果为研制商业化小型准分子激光器件提供了支持和依据。
- 激光技术 /
- 准分子激光 /
- 气体优化 /
- 激光性能
Abstract: For a new developed excimer laser system,the performance of laser gas is very important for the scale of the hybrid gas is closely relative to single pulse energy,stability of discharge,laser lifetime and so on.In order to obtain the optimum premix gas component,the corresponding experiments were accomplished in the own developed compact XeCl excimer laser system.The influence of Xe,HCl gas on the performance was analyzed.For both Ne and He buffer gas,the difference of the excimer laser performance was obtained by the theoretical analysis and experimental result.The optimum gas composition as well as the method to enhance laser efficiency was achieved by the relevant experiments results.The results provide the support and the warrant for developing commercial compact excimer laser.
- laser technique /
- excimer laser /
- gas optimization /
- laser performance

[1]	DENG G Q,YU Y Sh.Development and experimental study of excimer laser refractive system[J].Laser Technology,2005,29(4):417-419(in Chinese).
[2]	OGURA G,ANDRES R.Small excimers opening up new industrial applications[J].Proc SPIE,1997,2992:7-14.
[3]	GORTLER A,STROWITZKI C.Progress in the development of compact excimer lasers[J].Proc SPIE,2005,5777:562-565.
[4]	GORTLER A,MATERN A.Compact excimer lasers for metrology and inspection applications[J].Proc SPIE,2004,5457:105-115.
[5]	LONG W H,Jr,PLUMMER M J,STAPPAERTS E A.Efficient discharge pumping of an XeCl laser using a high-voltage prepulse[J].A P L,1983,43(8):735-737.
[6]	KUSHNER M J.Microarcs as a termination mechanism of optical pulses in electric-discharge excited KrF excimer lasers[J].IEEE Transactions on Plasma Science,1991,19(2):387-399.
[7]	SHI M M,JIANG H H,DENG G Q,et al.Development of controller for excimer laser based on optical fiber[J].Laser Technology,2009,33(1):100-104(in chinese).
[8]	HOKAZONO H,MIDORIKAWA K,OBARA M,et al.Theoretical analysis of a self-sustained discharge pumped XeCl laser[J].J A P,1984,56(3):680-690.
[9]	TAYLAR R S.Preionization and discharge stability study of long optical pulse duration UV-preionized XeCl lasers[J].J A P,1986,B41(1):1-24.
[10]	DENG G Q,ZHU Zh Q,YU Y Sh.Study of the low gain excimer laser optimum transmission[J].Acta Optica Sinica,2005,25(3):359-363(in Chinese).

[1]	王义杰 , 于海涛 , 孙亮 , 徐玉恒 . Mg:Er:LiNbO3晶体的激光性能和550nm寿命特性研究. 激光技术, 2008, 32(3): 284-286.
[2]	郭商勇 , 陈涛 , 刘世炳 . 提高准分子激光打孔质量的方法研究. 激光技术, 2006, 30(6): 625-627.
[3]	臧竞存 , 董治长 , 詹永玲 , 江少林 , 刘燕行 . 双掺Cr, Nd：ZW晶体的光性、热学和激光性能. 激光技术, 1997, 21(1): 1-4.
[4]	陈星 , 游利兵 , 代甜甜 , 王宏伟 , 杨礼昭 , 程超 , 方晓东 . 308nm准分子激光剥离聚酰亚胺薄膜实验研究. 激光技术, 2020, 44(1): 100-107. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2020.01.018
[5]	曹正林 , 沈建新 , 廖文和 . 准分子激光切削角膜与飞点扫描算法的研究. 激光技术, 2006, 30(6): 631-635.
[6]	龙芋宏 , 熊良才 , 史铁林 . 水辅助准分子激光微加工硅的实验研究. 激光技术, 2006, 30(6): 567-569.
[7]	龙芋宏 , 熊良才 , 史铁林 , 柳海鹏 . 准分子激光电化学刻蚀硅的刻蚀质量研究. 激光技术, 2006, 30(3): 235-237.
[8]	赵家敏 , 高健 , 梁勖 , 王效顺 , 游利兵 , 王庆胜 , 余吟山 , 方晓东 . 双腔准分子激光器脉冲充电电源的研究. 激光技术, 2013, 37(1): 97-100. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.01.024
[9]	叶震寰 , 楼祺洪 , 李红霞 , 董景星 , 魏运荣 . 准分子激光光束均匀技术. 激光技术, 2005, 29(2): 207-209,212.
[10]	宋登元 . ArF准分子激光光刻的研究现状. 激光技术, 1999, 23(5): 288-291.
[11]	林振能 , 沈建新 , 廖文和 . 193nm准分子激光切削角膜的研究. 激光技术, 2003, 27(6): 510-513.
[12]	魏仁选 . 准分子激光直写加工特性与脉冲参数关系的研究. 激光技术, 2004, 28(1): 85-87.
[13]	柳海鹏 , 周月豪 , 熊良才 , 史铁林 . 准分子激光直刻横向影响区实验研究. 激光技术, 2005, 29(2): 132-134.
[14]	邓国庆 , 朱志强 , 余吟山 . C→A跃迁准分子激光阈值条件的研究. 激光技术, 2005, 29(5): 466-469.
[15]	邓国庆 , 余吟山 . 准分子激光屈光矫正系统及实验研究. 激光技术, 2005, 29(4): 417-419,448.
[16]	厉彦超 , 游利兵 , 王庆胜 , 余吟山 , 方晓东 . 准分子激光电源磁脉冲压缩开关的磁芯复位研究. 激光技术, 2013, 37(6): 803-807. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.06.022
[17]	谭东晖 , 陆冬生 , 宋文栋 , 范永昌 , 安承武 . 准分子激光直接清洗硅片上油脂的实验研究. 激光技术, 1995, 19(5): 319-310.
[18]	赵读亮 , 梁勖 , 方晓东 . 电激励准分子激光系统的电磁辐射和抑制. 激光技术, 2017, 41(4): 484-488. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2017.04.005
[19]	钱晓峰 , 陈涛 , 祁恒 . 准分子激光刻蚀可变焦光路设计研究. 激光技术, 2007, 31(3): 262-264.
[20]	李呈德 , 陈涛 , 万盈 , 左铁钏 . LPX305iF型准分子激光光束质量诊断. 激光技术, 2000, 24(3): 155-157.

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小型化准分子激光器气体性能的优化

作者简介: 邓国庆(1976- ),男,副研究员,主要从事准分子激光技术及应用方面的研究.E-mail:dgq@aiofm.ac.cn

1. 中国科学院安徽光学精密机械研究所准分子激光实验室合肥 230031

收稿日期: 2009-06-03
录用日期: 2009-09-14
网络出版日期: 2010-07-25

关键词:

摘要: 对于新研制的准分子激光系统而言,激光气体的性能具有非常重要的作用,激光系统的混合气体配比与单脉冲能量、放电稳定性和寿命等性能参量有密切关系。为了获得最佳气体配比,在自行研制的小型化Xecl准分子激光器的基础上进行了激光气体性能优化实验,分析了Xe,HCl气体比例对激光性能的影响,通过理论分析和实验结果给出了Ne和He两种不同缓冲气体下的激光性能差异,并给出了该激光系统的优化气体成分和有效提高激光效率方法。实验结果为研制商业化小型准分子激光器件提供了支持和依据。