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光栅干涉位移测量技术发展综述

王国超 颜树华 高雷 谢学东 田震

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光栅干涉位移测量技术发展综述

    作者简介: 王国超(1985- ),男,硕士研究生,现主要从事光电检测及传感技术方面的研究..
    通讯作者: 颜树华, yanshuhua996@163.com
  • 基金项目:

    国家自然科学基金资助项目(50875258)

  • 中图分类号: TH741

Development of displacement measurement technologies based on grating interferometry

    Corresponding author: YAN Shu-hua, yanshuhua996@163.com ;
  • CLC number: TH741

  • 摘要: 介绍了经典双光栅测量系统、非对称双级闪耀光栅测量系统、单光栅测量系统、基于2次莫尔条纹的光栅测量系统、同心圆光栅2维位移测量系统、2维光栅位移测量系统的测量原理,阐述了各系统的关键问题及不足之处。同时结合双频激光干涉仪外差干涉思想,在单光栅测量系统的基础上,提出了双波长单光栅式纳米级位移测量方法,并通过分析系统特点指出该方法能实现大量程测量、获得纳米级的精度和分辨力。在对各种测量方法进行综合比较之后,总结了光栅测量的关键问题,并展望了光栅干涉位移测量的未来发展方向。
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出版历程
  • 收稿日期:  2009-10-29
  • 录用日期:  2009-12-27
  • 刊出日期:  2010-09-25

光栅干涉位移测量技术发展综述

    通讯作者: 颜树华, yanshuhua996@163.com
    作者简介: 王国超(1985- ),男,硕士研究生,现主要从事光电检测及传感技术方面的研究.
  • 1. 国防科学技术大学, 机电工程与自动化学院, 长沙, 410073
基金项目:  国家自然科学基金资助项目(50875258)

摘要: 介绍了经典双光栅测量系统、非对称双级闪耀光栅测量系统、单光栅测量系统、基于2次莫尔条纹的光栅测量系统、同心圆光栅2维位移测量系统、2维光栅位移测量系统的测量原理,阐述了各系统的关键问题及不足之处。同时结合双频激光干涉仪外差干涉思想,在单光栅测量系统的基础上,提出了双波长单光栅式纳米级位移测量方法,并通过分析系统特点指出该方法能实现大量程测量、获得纳米级的精度和分辨力。在对各种测量方法进行综合比较之后,总结了光栅测量的关键问题,并展望了光栅干涉位移测量的未来发展方向。

English Abstract

参考文献 (24)

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