CO2激光直写制作聚酰亚胺多模波导技术的研究

朱大庆; 金曦

doi:10.3969/j.issn.1001-3806.2010.O5.030

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CO2激光直写制作聚酰亚胺多模波导技术的研究

朱大庆 , 金曦

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引用本文:

Citation:

CO2激光直写制作聚酰亚胺多模波导技术的研究

朱大庆¹,
金曦²

1.
华侨大学, 信息学院, 泉州, 362021;
2.
华中科技大学, 光电子科学与工程学院, 武汉, 430074

作者简介: 朱大庆(1966- ),男,博士,现主要从事光电材料与器件的研究.E-mail:zhudaqing@hqu.edu.cn.

基金项目:
华侨大学校基金资助项目(09BS103)
中图分类号: TN249

Study on CO2 laser direct writing polyimide waveguide

ZHU Da-qing¹,
JIN Xi²

1.
Institute of Information Engineering, Huaqiao University, Quanzhou 362021, China;
2.
College of Optoelectronic Science and Engineering, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074, China
CLC number: TN249

摘要: 为了研究适合制作大面积波导的CO2激光直写制作聚酰亚胺多模波导技术,采用理论模拟和工艺研究的方法,通过建立激光加工模型,得到了激光扫描线的温度分布与加工参量的关系,提出了增加波导侧面陡直性的方法;通过对实验结果的分析,研究了加工参量对波导材料性能、波导结构和表面粗糙度的影响。结果表明,控制激光功率密度、直写速率和光阑位置可以控制波导的宽度、侧面陡直性和表面粗糙度。
- 光电子学 /
- 激光直写 /
- CO2激光 /
- 聚合物波导
Abstract: Analysis and experiments were conducted to study how to fabricate large-area polyimide multimode waveguide by means of CO2 laser direct writing. Firstly, the laser fabrication model was built. Secondly, the relationship between the temperature distribution in the material and the laser scanning parameters was simulated. Finally,a method was proposed to increase the verticality of the sidewall of the waveguide. The influence of the processing parameters on the property of the waveguide material, the structure of the waveguide and the roughness on the surface of the waveguide was also studied by experimental method.The results show that the width, verticality and roughness of the waveguide depend on the laser power density, direct writing speed and the position of the aperture.
- optoelectronics /
- laser direct writing /
- CO2 laser /
- polymer waveguide

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CO2激光直写制作聚酰亚胺多模波导技术的研究

朱大庆¹
金曦²

作者简介: 朱大庆(1966- ),男,博士,现主要从事光电材料与器件的研究.E-mail:zhudaqing@hqu.edu.cn

1. 华侨大学, 信息学院, 泉州, 362021;
2. 华中科技大学, 光电子科学与工程学院, 武汉, 430074

收稿日期: 2009-10-27
录用日期: 2009-12-14
网络出版日期: 2010-09-25

基金项目: 华侨大学校基金资助项目(09BS103)

关键词:

摘要: 为了研究适合制作大面积波导的CO2激光直写制作聚酰亚胺多模波导技术,采用理论模拟和工艺研究的方法,通过建立激光加工模型,得到了激光扫描线的温度分布与加工参量的关系,提出了增加波导侧面陡直性的方法;通过对实验结果的分析,研究了加工参量对波导材料性能、波导结构和表面粗糙度的影响。结果表明,控制激光功率密度、直写速率和光阑位置可以控制波导的宽度、侧面陡直性和表面粗糙度。