条纹相位分析小区域平整度检测

杨初平; 纪婧如; 谭穗妍; 林盈洪

doi:10.3969/j.issn.1001-3806.2011.06.017

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条纹相位分析小区域平整度检测

杨初平 , 纪婧如 , 谭穗妍 , 林盈洪

文章导航 > 激光技术 > 2011 > 35(6): 784-786,836

引用本文:

Citation:

条纹相位分析小区域平整度检测

1.
华南农业大学物理系, 广州 510642

作者简介: 杨初平(1970-)，男，副教授，研究方向为光电信息处理。Email:yangchp@scau.edu.cn.

基金项目:
广东省自然科学基金资助项目(9151064201000035)
中图分类号: O439

Flatness detection of small plane by means of fringe phase

1.
Department of Physics, South China Agricultural University, Guangzhou 510642, China
CLC number: O439

摘要: 为了对漫反射材料小尺寸平面的平整度进行检测,提出采用载频条纹相位分析的方法。该方法采用激光作为照明光源,通过相干获得周期为100m的条纹,使用傅里叶变换条纹相位分析提取待测表面的调制相位并可以转换为表面高度分布,从而能够实现对材料表面平整度的评价。结果表明,系统高度分辨力为10m;考虑到噪声的影响,实际分辨力可以达到20m。所给出的实际实验结果显示该方法是可行的。
- 信息光学 /
- 平整度检测 /
- 条纹分析 /
- 漫反射材料
Abstract: In order to detect and evaluate the flatness of small plane of diffuse reflection, a method was presented based on carrier fringe phase analysis. With a laser as illuminating light source, a coherent fringe pattern at period of 100m was achieved. The modulated phase distribution of the testing surface was retrieved after Fourier transform and converted into the physical height distribution, and then these height data were applied to evaluate the surface flatness. The detailed theoretical analysis was presented. The theoretical height resolution can reach 10m. Due to the effect of the noise, the experimental height resolution only reached 20m. The experimental results prove that the method is valid.
- information optics /
- flatness detection /
- fringe analysis /
- diffuse reflection material

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条纹相位分析小区域平整度检测

作者简介: 杨初平(1970-)，男，副教授，研究方向为光电信息处理。Email:yangchp@scau.edu.cn

1. 华南农业大学物理系, 广州 510642

收稿日期: 2010-12-23
录用日期: 2011-02-18
网络出版日期: 2011-11-25

基金项目: 广东省自然科学基金资助项目(9151064201000035)

关键词:

摘要: 为了对漫反射材料小尺寸平面的平整度进行检测,提出采用载频条纹相位分析的方法。该方法采用激光作为照明光源,通过相干获得周期为100m的条纹,使用傅里叶变换条纹相位分析提取待测表面的调制相位并可以转换为表面高度分布,从而能够实现对材料表面平整度的评价。结果表明,系统高度分辨力为10m;考虑到噪声的影响,实际分辨力可以达到20m。所给出的实际实验结果显示该方法是可行的。