单驱动变曲率单晶硅反射镜的研究

张治国; 熊木地; 张增宝; 金玉奇

doi:10.3969/j.issn.1001-3806.2012.02.035

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单驱动变曲率单晶硅反射镜的研究

张治国 , 熊木地 , 张增宝 , 金玉奇

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引用本文:

Citation:

单驱动变曲率单晶硅反射镜的研究

1.
大连海事大学信息科学技术学院大连 116026;
2.
中国科学院大连化学物理研究所化学激光重点实验室大连 116023

作者简介: 张治国(1977- ),男,硕士研究生,助理研究员,主要从事光束质量控制方面的研究..

通讯作者: 熊木地, xmd2003@sohu.com ;

中图分类号: O439

单驱动变曲率单晶硅反射镜的研究

1.
College of Information Science and Technology, Dalian Maritime University, Dalian 116026, China;
2.
Key Laboratory of Chemical Laser, Dalian Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Sciences, Dalian 116023, China

Corresponding author: XIONG Mu-di, xmd2003@sohu.com ;

CLC number: O439

摘要: 为了解决高能激光器输出光束的光束质量随时间蜕变的问题,提出了一种主动光学元件的结构,只使用一个驱动器使反射镜的曲率产生可控制的改变,用以补偿高能激光器中增益介质或光学元件因热效应而产生的球差。通过理论模拟计算和实验研究对比验证,这种结构能够使单晶硅基底的反射镜产生微小变形,通过精确控制驱动器,可以使反射镜产生所需要的曲率变化。结果表明,这种主动光学元件可以用于谐振腔内补偿高能激光器中热效应产生的球差项的影响。
- 光学器件 /
- 变曲率 /
- 单驱动 /
- 热补偿
Abstract: 为了解决高能激光器输出光束的光束质量随时间蜕变的问题,提出了一种主动光学元件的结构,只使用一个驱动器使反射镜的曲率产生可控制的改变,用以补偿高能激光器中增益介质或光学元件因热效应而产生的球差。通过理论模拟计算和实验研究对比验证,这种结构能够使单晶硅基底的反射镜产生微小变形,通过精确控制驱动器,可以使反射镜产生所需要的曲率变化。结果表明,这种主动光学元件可以用于谐振腔内补偿高能激光器中热效应产生的球差项的影响。
- optical devices /
- variable curvature /
- single actuator /
- thermal compensation

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单驱动变曲率单晶硅反射镜的研究

通讯作者: 熊木地, xmd2003@sohu.com;

作者简介: 张治国(1977- ),男,硕士研究生,助理研究员,主要从事光束质量控制方面的研究.

1. 大连海事大学信息科学技术学院大连 116026;
2. 中国科学院大连化学物理研究所化学激光重点实验室大连 116023

收稿日期: 2011-06-06
录用日期: 2011-07-17
网络出版日期: 2012-03-25

关键词:

摘要: 为了解决高能激光器输出光束的光束质量随时间蜕变的问题,提出了一种主动光学元件的结构,只使用一个驱动器使反射镜的曲率产生可控制的改变,用以补偿高能激光器中增益介质或光学元件因热效应而产生的球差。通过理论模拟计算和实验研究对比验证,这种结构能够使单晶硅基底的反射镜产生微小变形,通过精确控制驱动器,可以使反射镜产生所需要的曲率变化。结果表明,这种主动光学元件可以用于谐振腔内补偿高能激光器中热效应产生的球差项的影响。