双腔准分子激光器脉冲充电电源的研究

赵家敏; 高健; 梁勖; 王效顺; 游利兵; 王庆胜; 余吟山; 方晓东

doi:10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.01.024

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双腔准分子激光器脉冲充电电源的研究

赵家敏 , 高健 , 梁勖 , 王效顺 , 游利兵 , 王庆胜 , 余吟山 , 方晓东

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引用本文:

Citation:

双腔准分子激光器脉冲充电电源的研究

1.
中国科学院安徽光学精密机械研究所, 合肥 230031;
2.
合肥工业大学电子科学与应用物理学院, 合肥 230009

作者简介: 赵家敏(1985- ),男,博士研究生,主要从事准分子激光技术及激励电源的研究..

通讯作者: 方晓东, Xdfang@aiofm.ac.cn

中图分类号:
TN248.2;TN245

Study on pulse charge power for a dual-chamber excimer laser

1.
Anhui Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Hefei 230031, China;
2.
School of Electronic Science & Applied Physics, Hefei University of Technology, Hefei 230009, China

Corresponding author: FANG Xiao-dong, Xdfang@aiofm.ac.cn

CLC number:
TN248.2;TN245

摘要: 为了满足工业用振荡-放大双腔结构的准分子激光器放电激励技术的要求,设计了高重频高精度的脉冲充电电源.该电源采用LC谐振倍压的方式,同时为双腔准分子激光器的充电电容器进行充电,倍压比为1.87.通过对电源工作时序的调节,实现千赫兹高重频放电激励,在电源输出电压约为1300V时,充电电压精度为0.18%.结果表明,通过充电电压精度控制单元,对充电电压反馈调节,可以实现充电电压的高精度.
- 激光技术 /
- 充电电源 /
- 谐振 /
- 高重频 /
- 高精度 /
- 准分子激光
Abstract: In order to satisfy the exciting technique of a master oscillator power amplifier(MOPA) excimer laser for industrial use,a high-repetition and high-accuracy pulse charge power was designed.The power can simultaneously charge the charging capacitors for the dual chamber excimer laser with a LC resonant circuit with a voltage ratio of 1.87.By regulating the work schedule,the power can discharge at kHz level frequency.When the output voltage was about 1300V,the voltage precision was0.18%.The charging voltage can be controlled at high accuracy by the voltage feedback regulation.
- laser technique /
- charge power /
- resonance /
- high-repetition frequency /
- high-accuracy /
- excimer laser

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[5]	郭商勇 , 陈涛 , 刘世炳 . 提高准分子激光打孔质量的方法研究. 激光技术, 2006, 30(6): 625-627.
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[8]	龙芋宏 , 熊良才 , 史铁林 . 水辅助准分子激光微加工硅的实验研究. 激光技术, 2006, 30(6): 567-569.
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[12]	李燕凌 , 贾凯 , 顾宪松 , 郭嘉伟 , 高恒 , 王霞 . 25kHz、约2ns声光调Q Nd:YVO₄激光器研究. 激光技术, 2018, 42(1): 34-38. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2018.01.007
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双腔准分子激光器脉冲充电电源的研究

通讯作者: 方晓东, Xdfang@aiofm.ac.cn

作者简介: 赵家敏(1985- ),男,博士研究生,主要从事准分子激光技术及激励电源的研究.

1. 中国科学院安徽光学精密机械研究所, 合肥 230031;
2. 合肥工业大学电子科学与应用物理学院, 合肥 230009

收稿日期: 2012-04-09
录用日期: 2012-05-10
网络出版日期: 2013-01-25

关键词:

摘要: 为了满足工业用振荡-放大双腔结构的准分子激光器放电激励技术的要求,设计了高重频高精度的脉冲充电电源.该电源采用LC谐振倍压的方式,同时为双腔准分子激光器的充电电容器进行充电,倍压比为1.87.通过对电源工作时序的调节,实现千赫兹高重频放电激励,在电源输出电压约为1300V时,充电电压精度为0.18%.结果表明,通过充电电压精度控制单元,对充电电压反馈调节,可以实现充电电压的高精度.