基片衍射时原子速率对激光汇聚铬原子沉积的影响

张宝武; 支理想; 张文涛; 贾梦翔

doi:10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.04.002

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基片衍射时原子速率对激光汇聚铬原子沉积的影响

张宝武 , 支理想 , 张文涛 , 贾梦翔

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引用本文:

Citation:

基片衍射时原子速率对激光汇聚铬原子沉积的影响

1.
中国计量学院计量测试工程学院, 杭州 310018;
2.
桂林电子科技大学电子工程学院, 桂林 541004

作者简介: 张宝武(1978- ),男,博士,讲师,研究方向为原子光刻技术。E-mail:zhangbaowu1978@gmail.com.

基金项目:
国家自然科学基金资助项目(10972210;11064002);浙江省钱江人才计划资助项目(2011R10094);浙江省自然科学基金资助项目(LQ12E05018);广西省自然科学基金资助项目(2012gxnsfaa53229)
中图分类号:
O43

Effect of atomic velocity at substrate diffraction on laser-focused Cr atom deposition

1.
College of Metrology & Measurement Engineering, China Jiliang University, Hangzhou 310018, China;
2.
College of Electronic Engineering, Guilin University of Electronic Technology, Guilin 541004, China
CLC number:
O43

摘要: 为了研究基片衍射对激光汇聚原子沉积的影响,基于标量光学衍射理论,采用数值计算对比分析了基片衍射与否两种情况下,铬原子波包几率密度分布(表征了沉积条纹)特征值随原子波包速率的变化。结果表明,当原子波包横向速率保持不变、而纵向最可几速率在考察范围内变化时,基片衍射会使波包几率分布的最大值平均约有14.9%的增加量,而半峰全宽平均约有14.3%的减小量;当原子波包纵向最可几速率保持不变、而横向速率在考察范围内变化时,基片衍射会使波包几率密度分布的最大值平均约有14.5%的增加量,而半峰全宽平均约有16.9%的减小量。该研究成果为实验提供了有益的理论指导。
- 激光技术 /
- 基片衍射 /
- 原子波包 /
- 光学势阱
Abstract: In order to study the effect of substrate diffraction on laser-focused Cr atom deposition, simulation and comparative analysis were performed based on the scalar optical diffraction theory under the presence and absence of substrate diffraction. The variation of stripe value of atomic wave-packet probability distribution which stands for the deposited lines with different atomic wave-packet velocities was focused. The results show that because of substrate diffraction, the max value of wave-packet probability distribution has 14.9% average increase and the full width of half maximum (FWHM) has 14.3% average decrease for different longitudinal most probable velocities when transverse velocity remains constant; the max value of wave-packet probability distribution has 14.5% average increase and the FWHM has 16.9% average decrease for different transverse velocities when the most probable longitudinal velocity remains constant. The research results provide a richer theoretical guidance for the experiment.
- laser technique /
- substrate diffraction /
- atomic wave-packet /
- optical potential

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基片衍射时原子速率对激光汇聚铬原子沉积的影响

作者简介: 张宝武(1978- ),男,博士,讲师,研究方向为原子光刻技术。E-mail:zhangbaowu1978@gmail.com

1. 中国计量学院计量测试工程学院, 杭州 310018;
2. 桂林电子科技大学电子工程学院, 桂林 541004

收稿日期: 2012-12-01
录用日期: 2013-01-05
网络出版日期: 2013-07-25

基金项目: 国家自然科学基金资助项目(10972210;11064002);浙江省钱江人才计划资助项目(2011R10094);浙江省自然科学基金资助项目(LQ12E05018);广西省自然科学基金资助项目(2012gxnsfaa53229)

关键词:

摘要: 为了研究基片衍射对激光汇聚原子沉积的影响,基于标量光学衍射理论,采用数值计算对比分析了基片衍射与否两种情况下,铬原子波包几率密度分布(表征了沉积条纹)特征值随原子波包速率的变化。结果表明,当原子波包横向速率保持不变、而纵向最可几速率在考察范围内变化时,基片衍射会使波包几率分布的最大值平均约有14.9%的增加量,而半峰全宽平均约有14.3%的减小量;当原子波包纵向最可几速率保持不变、而横向速率在考察范围内变化时,基片衍射会使波包几率密度分布的最大值平均约有14.5%的增加量,而半峰全宽平均约有16.9%的减小量。该研究成果为实验提供了有益的理论指导。