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MOPA结构准分子激光电源的高精度电压控制研究

李友布 梁勖 赵家敏 鲍健

引用本文:
Citation:

MOPA结构准分子激光电源的高精度电压控制研究

    作者简介: 李友布(1987- ),男,硕士研究生,主要研究方向为准分子激光器双腔同步放电。.
    通讯作者: 鲍健, baojian_@sohu.com
  • 中图分类号:

    TN248.2

High precision voltage control for MOPA excimer laser

    Corresponding author: BAO Jian, baojian_@sohu.com
  • CLC number:

    TN248.2

  • 摘要: 为了减小激光器双腔放电时间的相对抖动、稳定激光器输出能量,采用闭环控制回路电压泄放方法,设计了一套主振荡功率放大结构准分子激光谐振充电高精度电压控制方案。通过对电容电压取样处理,动态监测储能电容电压,当电容电压大于目标电压时,由泄放电路泄放电压至目标值,得到高精度的充电电压,使用此电压控制方案后,充电电压的波动由1.67减小到0.83。结果表明,该方案很好地提高了谐振电源储能电容上的电压精度,减小了激光器双腔放电时间的相对抖动,并为后期的激光器能量输出稳定控制打下良好基础。
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-12-24
  • 录用日期:  2013-01-12
  • 刊出日期:  2013-09-25

MOPA结构准分子激光电源的高精度电压控制研究

    通讯作者: 鲍健, baojian_@sohu.com
    作者简介: 李友布(1987- ),男,硕士研究生,主要研究方向为准分子激光器双腔同步放电。
  • 1. 中国科学院 安徽光学精密机械研究所, 合肥 230031

摘要: 为了减小激光器双腔放电时间的相对抖动、稳定激光器输出能量,采用闭环控制回路电压泄放方法,设计了一套主振荡功率放大结构准分子激光谐振充电高精度电压控制方案。通过对电容电压取样处理,动态监测储能电容电压,当电容电压大于目标电压时,由泄放电路泄放电压至目标值,得到高精度的充电电压,使用此电压控制方案后,充电电压的波动由1.67减小到0.83。结果表明,该方案很好地提高了谐振电源储能电容上的电压精度,减小了激光器双腔放电时间的相对抖动,并为后期的激光器能量输出稳定控制打下良好基础。

English Abstract

参考文献 (12)

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