准分子激光电源磁脉冲压缩开关的磁芯复位研究

厉彦超; 游利兵; 王庆胜; 余吟山; 方晓东

doi:10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.06.022

高级检索

ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

准分子激光电源磁脉冲压缩开关的磁芯复位研究

厉彦超 , 游利兵 , 王庆胜 , 余吟山 , 方晓东

文章导航 > 激光技术 > 2013 > 37(6): 803-807

引用本文:

Citation:

准分子激光电源磁脉冲压缩开关的磁芯复位研究

1.
中国科学院安徽光学精密机械研究所激光技术研究中心, 合肥 230031

作者简介: 厉彦超(1987-),男,硕士研究生,主要从事准分子激光技术及脉冲功率电源的研究。.

通讯作者: 方晓东, xdfang@aiofm.ac.cn

中图分类号: TN86

Core reset in a magnetic pulse compression switch of an excimer laser power supply

1.
Institute of Optics and Fine Machanics, Anhui Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Hefei 230031, China

Corresponding author: FANG Xiao-dong, xdfang@aiofm.ac.cn

CLC number: TN86

摘要: 为了解决高重复率下准分子激光电源磁脉冲压缩开关的磁芯复位问题,以理论分析为指导,结合磁开关工作特性,设计了一种磁芯精确复位电路,该电路可快速精确复位饱和后的磁开关。将此复位系统应用于准分子激光器脉冲电源测试其性能,复位电流在磁开关饱和后200μs内平息振荡。结果表明,这一磁芯复位系统可满足4kHz重复率下脉冲电源的复位要求。此研究对今后高重复率准分子激光电源的设计是有帮助的。
- 激光器 /
- 复位系统 /
- 磁脉冲压缩 /
- 脉冲电源 /
- 准分子激光
Abstract: In order to solve the core reset problem of a magnetic pulse compression switch in a high repetition rate excimer laser power supply, the working process of the magnetic switch was analyzed. With the theoretical analysis as a guide, combined with the operating characteristics of the magnetic switch, an accurate reset circuit was designed. The saturated magnetic switch can be reset quickly and precisely by this circuit. After measuring the performance of the reset circuit, the reset current subsided in 200μs after the magnetic switch saturated. The results show that the design can meet the requirement of the power working at 4kHz repetition rate.The research is helpful for the design of high repetition rate excimer laser power supply in the future.
- lasers /
- reset system /
- magnetic pulse compression /
- pulse power /
- excimer laser

[1]	MELVILLE W S.The use of saturable reactor as discharge devices for pulse generators[J].Proceedings of IEEE, 1951, 98(53):185-205.
[2]	SMILANSKI I, BYRON S R, BURKES T R. Electrical excitation of a XeCl laser using magnetic pulse-compression[J]. Applied Physics Letter,1982, 40(7): 547-548.
[3]	TANAKA H, OBARA M. An all solid-state magnetic pulse compressor with amorphous metals for pumping a repetition-rated KrF excimer laser[J]. Review of Scientific Instruments, 1990, 61(4): 1196-1199.
[4]	SHIMADA T, OBARA M, NOGUCHI A.An all solid-state magnetic switching exciter for pumping excimer lasers[J]. Review of Scientific Instruments, 1985, 56(11): 2018-2020.
[5]	HATANAKA H, OBARA M.High-efficiency operation of the high-repetition-rate all-solid-state magnetic pulse compressor for KrF excimer lasers[J]. Measurement Science & Technology,1991, 2(1): 42-48.
[6]	WILLIM P, RICK S, IGPR F, et al.A low cost of ownership KrF excimer light source using a novel pulse power and chamber confi-guration[J]Proceedings of SPIE, 1995,2440:90-100.
[7]	NESS R, MELCHER P, FERGUSON G, et al. A decade of solid state pulsed power development at cymer INC[C]//2004 IEEE International Power Modulator and High Voltage Conference.San Diego,USA:IEEE,2004:228-233..
[8]	BARRETT D M.Core reset consideration in magnetic pulse compression networks[C]//The Tenth IEEE International Pulsed Power Conference.Albuqueque,New Mexico,USA:IEEE,1995:1160-1165.
[9]	YOU L B.Design and experimental study of all solid state pulse power module for excimer lasers[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2009, 21(11):1750-1751(in Chinese).
[10]	ZHAO J M, GAO J, LIANG X, et al. Study on the pulse charge power for a dual-chamber excimer laser[J].Laser Technology,2013, 37(1):97-100(in Chinese).

[1]	徐一帆 , 施阳杰 , 邵景珍 , 林颖 , 沈启辉 , 梁勖 . 大功率半导体激光器的高精度脉冲电源设计. 激光技术, 2023, 47(1): 108-114. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2023.01.017
[2]	赵家敏 , 高健 , 梁勖 , 王效顺 , 游利兵 , 王庆胜 , 余吟山 , 方晓东 . 双腔准分子激光器脉冲充电电源的研究. 激光技术, 2013, 37(1): 97-100. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.01.024
[3]	魏仁选 . 准分子激光直写加工特性与脉冲参数关系的研究. 激光技术, 2004, 28(1): 85-87.
[4]	赵读亮 , 梁勖 , 方晓东 . 电激励准分子激光系统的电磁辐射和抑制. 激光技术, 2017, 41(4): 484-488. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2017.04.005
[5]	邓国庆 , 余吟山 . 准分子激光屈光矫正系统及实验研究. 激光技术, 2005, 29(4): 417-419,448.
[6]	叶震寰 , 楼祺洪 , 李红霞 , 董景星 , 魏运荣 . 准分子激光光束均匀技术. 激光技术, 2005, 29(2): 207-209,212.
[7]	郭商勇 , 陈涛 , 刘世炳 . 提高准分子激光打孔质量的方法研究. 激光技术, 2006, 30(6): 625-627.
[8]	邓国庆 , 刘勇 , 贺龙海 , 崔卫华 . 小型化准分子激光器气体性能的优化. 激光技术, 2010, 34(4): 529-531,551. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2010.04.026
[9]	宋登元 . ArF准分子激光光刻的研究现状. 激光技术, 1999, 23(5): 288-291.
[10]	林振能 , 沈建新 , 廖文和 . 193nm准分子激光切削角膜的研究. 激光技术, 2003, 27(6): 510-513.
[11]	柳海鹏 , 周月豪 , 熊良才 , 史铁林 . 准分子激光直刻横向影响区实验研究. 激光技术, 2005, 29(2): 132-134.
[12]	陈星 , 游利兵 , 代甜甜 , 王宏伟 , 杨礼昭 , 程超 , 方晓东 . 308nm准分子激光剥离聚酰亚胺薄膜实验研究. 激光技术, 2020, 44(1): 100-107. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2020.01.018
[13]	邓国庆 , 朱志强 , 余吟山 . C→A跃迁准分子激光阈值条件的研究. 激光技术, 2005, 29(5): 466-469.
[14]	曹正林 , 沈建新 , 廖文和 . 准分子激光切削角膜与飞点扫描算法的研究. 激光技术, 2006, 30(6): 631-635.
[15]	龙芋宏 , 熊良才 , 史铁林 . 水辅助准分子激光微加工硅的实验研究. 激光技术, 2006, 30(6): 567-569.
[16]	龙芋宏 , 熊良才 , 史铁林 , 柳海鹏 . 准分子激光电化学刻蚀硅的刻蚀质量研究. 激光技术, 2006, 30(3): 235-237.
[17]	谭东晖 , 陆冬生 , 宋文栋 , 范永昌 , 安承武 . 准分子激光直接清洗硅片上油脂的实验研究. 激光技术, 1995, 19(5): 319-310.
[18]	钱晓峰 , 陈涛 , 祁恒 . 准分子激光刻蚀可变焦光路设计研究. 激光技术, 2007, 31(3): 262-264.
[19]	李呈德 , 陈涛 , 万盈 , 左铁钏 . LPX305iF型准分子激光光束质量诊断. 激光技术, 2000, 24(3): 155-157.
[20]	文小明 , 史明霞 , 杨雪玲 . 准分子激光对钛搪瓷打标的研究. 激光技术, 2000, 24(1): 9-11.

点击查看大图

计量

文章访问数: 3419
HTML全文浏览量: 711
PDF下载量: 551
被引次数: 0

准分子激光电源磁脉冲压缩开关的磁芯复位研究

通讯作者: 方晓东, xdfang@aiofm.ac.cn

作者简介: 厉彦超(1987-),男,硕士研究生,主要从事准分子激光技术及脉冲功率电源的研究。

1. 中国科学院安徽光学精密机械研究所激光技术研究中心, 合肥 230031

收稿日期: 2013-01-22
录用日期: 2013-03-14
网络出版日期: 2013-11-25

关键词:

摘要: 为了解决高重复率下准分子激光电源磁脉冲压缩开关的磁芯复位问题,以理论分析为指导,结合磁开关工作特性,设计了一种磁芯精确复位电路,该电路可快速精确复位饱和后的磁开关。将此复位系统应用于准分子激光器脉冲电源测试其性能,复位电流在磁开关饱和后200μs内平息振荡。结果表明,这一磁芯复位系统可满足4kHz重复率下脉冲电源的复位要求。此研究对今后高重复率准分子激光电源的设计是有帮助的。