高级检索

ISSN1001-3806CN51-1125/TN 网站地图

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

基片表面的倾斜度对光学势阱的影响

张宝武 支理想 王道档

引用本文:
Citation:

基片表面的倾斜度对光学势阱的影响

    作者简介: 张宝武(1978-),男,博士,讲师,研究方向为原子光刻技术。E-mail:zhangbaowu1978@gmail.com.
  • 基金项目:

    国家自然科学基金资助项目(11064002);浙江省自然科学基金资助项目(LQ13F050002);广西省自然科学基金资助项目(2012gxnsfaa53229;2013GXNSFDA019 002);天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室开放基金资助项目;广西省自动检测技术与仪器重点实验室基金资助项目(YQ14206)

  • 中图分类号: O43

Effect of substrate surface slope on optical potential

  • CLC number: O43

计量
  • 文章访问数:  3034
  • HTML全文浏览量:  603
  • PDF下载量:  603
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2013-07-01
  • 录用日期:  2013-09-02
  • 刊出日期:  2014-05-25

基片表面的倾斜度对光学势阱的影响

    作者简介: 张宝武(1978-),男,博士,讲师,研究方向为原子光刻技术。E-mail:zhangbaowu1978@gmail.com
  • 1. 中国计量学院 计量测试工程学院, 杭州 310018;
  • 2. 天津大学 精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津 300072
基金项目:  国家自然科学基金资助项目(11064002);浙江省自然科学基金资助项目(LQ13F050002);广西省自然科学基金资助项目(2012gxnsfaa53229;2013GXNSFDA019 002);天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室开放基金资助项目;广西省自动检测技术与仪器重点实验室基金资助项目(YQ14206)

摘要: 为了研究原子光刻实验中基片对汇聚激光场的影响,基于几何光学,采用数值仿真的方法,研究了基片表面的倾斜度对光学势阱的影响。结果表明,当基片表面相对于激光驻波中轴线正倾斜时,基片表面会形成一个无光场区,使光学势阱为0,且在z方向上光学势阱会发生一个零值突变;当基片表面相对于驻波中轴线负倾斜时,基片表面永远存在光场,在z方向上光学势阱不会发生零值突变,且光学势阱相对于z=0会出现对称现象。该研究结果对激光汇聚原子沉积实验具有指导意义。

English Abstract

参考文献 (14)

目录

    /

    返回文章
    返回