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直边衍射对铬原子3维沉积特性的影响

肖宇馨 张文涛

引用本文:
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直边衍射对铬原子3维沉积特性的影响

    作者简介: 肖宇馨(1989-),女,硕士研究生,现主要从事纳米光栅计量标准方面的研究。.
    通讯作者: 张文涛, glietzwt@163.com
  • 基金项目:

    国家自然科学基金资助项目(11064002);广西省自然科学基金资助项目(2013GXNSFDA019002);广西省科学研究与技术开发课题资助项目(桂科合1346010-5);桂林市科学研究与技术开发计划课题资助项目(20130122-1)

  • 中图分类号: O436

Effect of straight edge diffraction on 3-D deposition characteristics of Cr atoms

    Corresponding author: ZHANG Wentao, glietzwt@163.com
  • CLC number: O436

  • 摘要: 为了研究基片的直边衍射效应对激光汇聚铬原子沉积特性的影响,利用半经典模型,采用改进后的设定恰当步长的4阶龙格-库塔算法,模拟了铬原子在直边衍射激光驻波场中的3维运动轨迹和3维沉积光栅结构,研究了衍射边与反射镜的距离、激光中轴线与基片表面的距离对激光汇聚原子沉积过程的影响。结果表明,基片摆放位置不同,沉积效果受到衍射效应的影响程度也随之改变;当衍射边到反射镜的距离为0.81cm、激光中轴线与基片表面的距离为0.01mm时,纳米光栅的半峰全宽最小,同时对比度最大。该研究成果为原子光刻实验提供了丰富的理论指导。
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-11-07
  • 录用日期:  2013-12-04
  • 刊出日期:  2014-11-25

直边衍射对铬原子3维沉积特性的影响

    通讯作者: 张文涛, glietzwt@163.com
    作者简介: 肖宇馨(1989-),女,硕士研究生,现主要从事纳米光栅计量标准方面的研究。
  • 1. 桂林电子科技大学 电子工程学院, 桂林 541004
基金项目:  国家自然科学基金资助项目(11064002);广西省自然科学基金资助项目(2013GXNSFDA019002);广西省科学研究与技术开发课题资助项目(桂科合1346010-5);桂林市科学研究与技术开发计划课题资助项目(20130122-1)

摘要: 为了研究基片的直边衍射效应对激光汇聚铬原子沉积特性的影响,利用半经典模型,采用改进后的设定恰当步长的4阶龙格-库塔算法,模拟了铬原子在直边衍射激光驻波场中的3维运动轨迹和3维沉积光栅结构,研究了衍射边与反射镜的距离、激光中轴线与基片表面的距离对激光汇聚原子沉积过程的影响。结果表明,基片摆放位置不同,沉积效果受到衍射效应的影响程度也随之改变;当衍射边到反射镜的距离为0.81cm、激光中轴线与基片表面的距离为0.01mm时,纳米光栅的半峰全宽最小,同时对比度最大。该研究成果为原子光刻实验提供了丰富的理论指导。

English Abstract

参考文献 (15)

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