氧化锌薄膜的光学相干层析检测方法研究

秦玉伟

doi:10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2014.06.026

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氧化锌薄膜的光学相干层析检测方法研究

秦玉伟

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氧化锌薄膜的光学相干层析检测方法研究

秦玉伟

1.
渭南师范学院物理与电气工程学院, 渭南 714000

作者简介: 秦玉伟(1979-),男,讲师,博士,主要研究方向为传感器与光电检测技术。E-mail:qinyuwei@163.com.

基金项目:
陕西省军民融合研究基金资助项目(13JMR18);陕西省教育厅科学研究计划资助项目(12JK0672);陕西省科技厅国际交流合作资助项目(2013KW04-03)
中图分类号:
TN247

Study on optical coherence tomography detection of ZnO film

QIN Yuwei

1.
School of Physics and Electrical Engineering, Weinan Normal University, Weinan 714000, China
CLC number:
TN247

摘要: 为了实现对氧化锌薄膜的厚度测量,采用光学相干层析成像的方法进行了理论分析和实验验证,获得了含厚度信息的1维深度图像和含内部结构信息的2维层析图像。结果表明,该方法测得的薄膜厚度值与理论值一致。该研究说明谱域光学相干层析成像技术的测量结果真实有效,可以用于薄膜的厚度测量和质量检测。
- 测量与计量 /
- 薄膜 /
- 检测 /
- 光学相干层析成像
Abstract: In order to measure the thickness of ZnO film, optical coherence tomography (OCT) technique was used for theoretic analysis and experimental verification. The 1-D depth image including thickness information and the 2-D cross-sectional image including structure information were obtained simultaneously. The results show that the measuring result is almost as same as the theoretical value. It is illustrated that the measurement of the spectral-domain OCT is real and effective. It can be used for the measurement of thickness and quality of the film.
- measurement and metrology /
- film /
- detection /
- optical coherence tomography

[1]	HUANG Y Q, LIU M D, ZENG Y K, et al. Progress of study on ZnO thin film and its properties[J].Journal of Inorganic Materials, 2001,16(3): 391-395(in Chinese).
[2]	HUANG D, SWANSON E A, LIN C P, et al. Optical coherence tomography [J]. Science, 1991, 254(5035):1178-1181.
[3]	CHANG S D, MAO Y X, FLUERARU C, et al. Optical coherence tomography: technology and applications[J].Proceedings of the SPIE, 2009, 7156:1-8.
[4]	FERCHER A F, DREXLER W, HITZENBERGER C K, et al. Optical coherence tomography-principles and applications [J]. Reports on Progress in Physics, 2003, 66(2003): 239-303.
[5]	FERCHER A F.Ophthalmic interferometry: optics in medicine, biology, and environmental research[C]//Proceedings of the International Conference on Optics Within Life Sciences. Garmisch-Partenkirchen, Germany:Conference on Optics Within Life Sciences, 1990: 221-228.
[6]	WIESAUER K, PIRCHER M, GOTZINGER E, et al. En-face scanning optical coherence tomography with ultra-high resolution for material investigation [J]. Optics Express, 2005, 13(3): 1015-1024.
[7]	FERCHER A F, HITZENBERGER C K, KAMP G, et al. Measurement of intraocular distances by backscattering spectral interferometry [J]. Optics Communications, 1995, 117(1/2): 43-48.
[8]	LEITHEB R, HIEZENBERGER C K, FERCHER A F. Performance of fourier domain vs. time domain optical coherence tomography [J]. Optics Express, 2003, 11(8): 889-894.
[9]	de BOER J F, CENSE B, PARK B H, et al. Improved signal-to-noise ratio in spectral-domain compared with time-domain optical coherence tomography [J]. Optics Letters, 2003,28(21): 2067-2069.
[10]	QIN Y W. Study on micro-electromechanical system measurement using optical coherence tomography[J]. Laser Technology, 2013, 37(5): 664-667(in Chinese).
[11]	QIN Y W, ZHAO H, ZHUANG Z Q, et al. High resolution spectral-domain optical coherence tomography using a thermal light source [J].Optical and Quantum Electronics, 2012,43(6):83-90.

[1]	秦玉伟 . 基于光学相干层析成像技术的薄膜厚度测量. 激光技术, 2012, 36(5): 662-664. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2012.05.022
[2]	秦玉伟 . 光学相干层析成像用于微机电系统测量研究. 激光技术, 2013, 37(5): 664-667. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.05.022
[3]	陈玉平 . 白光照明谱域光学相干层析成像研究. 激光技术, 2014, 38(3): 372-374. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2014.03.019
[4]	高志山 , 陈进榜 . 激光损伤光学表面的检测研讨. 激光技术, 2000, 24(3): 185-188.
[5]	王成 , 马莹 , 张贵彦 , 肖孟超 , 甘志宏 , 缪同群 , 钱龙生 . 薄膜应力激光测量方法分析. 激光技术, 2005, 29(1): 98-100.
[6]	闫斌 , 吴福全 , 郝殿中 , 张旭 , 毕佳 , 郑萌萌 . λ/4光学薄膜相位延迟器的温度特性. 激光技术, 2008, 32(2): 215-217.
[7]	于业梅 , 李清山 , 李新坤 , 徐言东 , 蒙岩峰 . Cu掺杂ZnO薄膜光学性质的研究. 激光技术, 2010, 34(4): 456-458,528. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2010.04.007
[8]	李玉瑶 , 张婉怡 , 刘喆 , 李美萱 , 付秀华 . S-on-1测量方式下薄膜激光损伤的累积效应. 激光技术, 2018, 42(1): 39-42. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2018.01.008
[9]	周维军 , 袁永华 , 桂元珍 . 激光辐照TiO2/SiO2薄膜损伤时间简捷测量. 激光技术, 2007, 31(4): 381-383.
[10]	刘细成 , 王植恒 , 廖清君 , 赖成军 . 用透射光谱和模拟退火算法确定薄膜光学常数. 激光技术, 2003, 27(2): 94-96,112.
[11]	宋秋艳 , 陈根祥 , 谭晓琳 , 田恺 . 单壁碳纳米管薄膜制备及其光学特性研究. 激光技术, 2014, 38(2): 181-185. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2014.02.008
[12]	齐瑞云 , 吴福全 , 郝殿中 , 王庆 , 吴闻迪 . 退火温度对HfO2薄膜应力和光学特性的影响. 激光技术, 2011, 35(2): 182-184,188. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.02.011
[13]	赵涛 , 李清山 , 董艳锋 , 张立春 , 解晓君 . 氧压对PLD制备掺铜ZnO薄膜光学性质的影响. 激光技术, 2011, 35(6): 781-783,799. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.06.016
[14]	戴罡 , 陆建 , 王斌 , 刘剑 , 倪晓武 . 脉宽1ms和10ns的激光损伤光学薄膜元件的比较分析. 激光技术, 2011, 35(4): 477-480,542. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.04.010
[15]	林静焕 , 戴勇 , 盛水平 , 陈海云 . 新型通用式激光扫描封头检测仪. 激光技术, 2014, 38(5): 651-654. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2014.05.016
[16]	雷剑波 , 杨洗陈 , 陈娟 , 王云山 . CO2激光熔凝中熔池冷却过程检测研究. 激光技术, 2008, 32(2): 191-193.
[17]	王卫宁 , 梁镜明 , 张存林 , 艾伦 , 戴福隆 . 全息干涉法在表面封装组件质量检测中的应用. 激光技术, 2000, 24(1): 15-20.
[18]	范宜艳 , 赵斌 , 马国鹭 . 基于光学标靶与测距仪的隐藏区域坐标测量. 激光技术, 2014, 38(6): 723-728. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2014.06.001
[19]	许彬 , 李斌成 , 高椿明 , 王强 , 郭小红 , 孙启明 . 真空环境下低损耗高反射光学元件性能退化特性. 激光技术, 2020, 44(6): 768-772. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2020.06.021
[20]	胡林亭 , 史德民 , 李佩军 , 任成才 . 激光监测系统测量精度的检测方法. 激光技术, 2008, 32(6): 670-672.