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基于复合光栅镜的角向偏振光产生研究

卢丽娟 李波 王又青 赵江

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基于复合光栅镜的角向偏振光产生研究

    作者简介: 卢丽娟(1990-),女,硕士研究生,主要研究方向为CO2激光器。.
    通讯作者: 李波, libohust@gmail.com
  • 基金项目:

    国家自然科学基金青年基金资助项目(61308045)

  • 中图分类号: TN253

Generation of azimuthally polarized beam based on hybrid grating mirror

    Corresponding author: LI Bo, libohust@gmail.com ;
  • CLC number: TN253

  • 摘要: 为了得到角向偏振光输出,采用严格耦合波分析方法,设计了一种复合光栅镜。先通过对Ge光栅的伪博世工艺刻蚀特性的研究,得到了高深宽比的无定型Ge光栅。然后在栅槽底部引入了随机分布的Ge纳米针,在该光栅上依次镀金膜和介质保护膜,得到介质-金属复合光栅镜。最后将该复合光栅镜用作轴快流CO2激光器谐振腔尾镜,得550W角向偏振光输出。结果表明,纳米柱及金栅脊的引入使得该复合光栅镜具有很高的偏振选择性。
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出版历程
  • 收稿日期:  2014-09-02
  • 录用日期:  2014-10-29
  • 刊出日期:  2015-09-25

基于复合光栅镜的角向偏振光产生研究

    通讯作者: 李波, libohust@gmail.com
    作者简介: 卢丽娟(1990-),女,硕士研究生,主要研究方向为CO2激光器。
  • 1. 华中科技大学 激光加工国家工程研究中心, 武汉 430074
基金项目:  国家自然科学基金青年基金资助项目(61308045)

摘要: 为了得到角向偏振光输出,采用严格耦合波分析方法,设计了一种复合光栅镜。先通过对Ge光栅的伪博世工艺刻蚀特性的研究,得到了高深宽比的无定型Ge光栅。然后在栅槽底部引入了随机分布的Ge纳米针,在该光栅上依次镀金膜和介质保护膜,得到介质-金属复合光栅镜。最后将该复合光栅镜用作轴快流CO2激光器谐振腔尾镜,得550W角向偏振光输出。结果表明,纳米柱及金栅脊的引入使得该复合光栅镜具有很高的偏振选择性。

English Abstract

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