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激光诱导化学液相沉积Fe膜的研究

侯占杰 唐星 罗穆伟 王振 李运波 朱玉斌

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激光诱导化学液相沉积Fe膜的研究

    作者简介: 侯占杰(1985-),男,硕士研究生,主要研究方向为激光加工化学沉积金属。.
    通讯作者: 朱玉斌, ybzhu@shu.edu.cn
  • 中图分类号: O644.18

Study on laser-induced chemical liquid deposition Fe film

    Corresponding author: ZHU Yubin, ybzhu@shu.edu.cn
  • CLC number: O644.18

  • 摘要: 为了沉积出表面平整、尺寸精确、沉积区域具有可选择性的Fe膜,采用YAG固体激光器,以Fe(CO)5为液相前驱体,利用一定厚度的石英片减少副产物,在激光功率密度为1.0106W/cm2、激光频率为2.5kHz、激光扫描速率为300mm/s、激光重复扫描次数为200次的条件下,沉积出表面平整性较好、并且具有一定厚度的Fe沉积层。通过测试分析发现,沉积层表面质量受激光功率密度影响较大;激光功率密度是影响到沉积层能否沉积以及沉积厚度的重要参量。结果表明,通过激光诱导,以Fe(CO)5为前驱体,可以实现铜表面的Fe膜的沉积。
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出版历程
  • 收稿日期:  2014-12-18
  • 录用日期:  2015-01-20
  • 刊出日期:  2016-01-25

激光诱导化学液相沉积Fe膜的研究

    通讯作者: 朱玉斌, ybzhu@shu.edu.cn
    作者简介: 侯占杰(1985-),男,硕士研究生,主要研究方向为激光加工化学沉积金属。
  • 1. 上海大学材料科学与工程学院电子信息系, 上海 200436

摘要: 为了沉积出表面平整、尺寸精确、沉积区域具有可选择性的Fe膜,采用YAG固体激光器,以Fe(CO)5为液相前驱体,利用一定厚度的石英片减少副产物,在激光功率密度为1.0106W/cm2、激光频率为2.5kHz、激光扫描速率为300mm/s、激光重复扫描次数为200次的条件下,沉积出表面平整性较好、并且具有一定厚度的Fe沉积层。通过测试分析发现,沉积层表面质量受激光功率密度影响较大;激光功率密度是影响到沉积层能否沉积以及沉积厚度的重要参量。结果表明,通过激光诱导,以Fe(CO)5为前驱体,可以实现铜表面的Fe膜的沉积。

English Abstract

参考文献 (15)

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