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248nm准分子激光加工玻璃微通道的实验研究

田姗姗 陈涛

引用本文:
Citation:

248nm准分子激光加工玻璃微通道的实验研究

    作者简介: 田姗姗(1992-),女,硕士研究生,现主要从事激光微纳加工的研究。.
    通讯作者: 陈涛, chentao@bjut.edu.cn
  • 基金项目:

    北京市自然科学基金资助项目(4132017);科技部国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(2011YQ030112)

  • 中图分类号: TN249

Study on the processing of glass micro channels with 248nm excimer laser

    Corresponding author: CHEN Tao, chentao@bjut.edu.cn
  • CLC number: TN249

  • 摘要: 为了提高玻璃微通道的加工效率及质量,采用248nm准分子激光加工玻璃微通道的新型加工方法进行了理论分析和实验验证,取得了不同激光参量下玻璃微通道的加工工艺数据。结果表明,激光加工玻璃微通道的刻蚀阈值为4.54103mJ/mm2;随着激光能量的增加,刻蚀深度近似成对数增长,经线性拟合得到刻蚀深度随激光能量变化的公式;随着脉冲频率的增加,刻蚀深度近似成线性增长,经线性拟合得到刻蚀深度随频率变化的公式;且通道底面粗糙度随激光能量及脉冲频率的增加,呈增长趋势;激光的能量在400mJ~600mJ、脉冲频率在4 Hz~7 Hz范围的组合激光参量可实现刻蚀率高、粗糙度小的微通道加工。这些结果对于合理选择激光参量、提高玻璃微通道的加工效率及质量是有帮助的。
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出版历程
  • 收稿日期:  2015-08-10
  • 录用日期:  2015-10-08
  • 刊出日期:  2016-09-25

248nm准分子激光加工玻璃微通道的实验研究

    通讯作者: 陈涛, chentao@bjut.edu.cn
    作者简介: 田姗姗(1992-),女,硕士研究生,现主要从事激光微纳加工的研究。
  • 1. 北京工业大学 激光工程研究院, 北京 100022
基金项目:  北京市自然科学基金资助项目(4132017);科技部国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(2011YQ030112)

摘要: 为了提高玻璃微通道的加工效率及质量,采用248nm准分子激光加工玻璃微通道的新型加工方法进行了理论分析和实验验证,取得了不同激光参量下玻璃微通道的加工工艺数据。结果表明,激光加工玻璃微通道的刻蚀阈值为4.54103mJ/mm2;随着激光能量的增加,刻蚀深度近似成对数增长,经线性拟合得到刻蚀深度随激光能量变化的公式;随着脉冲频率的增加,刻蚀深度近似成线性增长,经线性拟合得到刻蚀深度随频率变化的公式;且通道底面粗糙度随激光能量及脉冲频率的增加,呈增长趋势;激光的能量在400mJ~600mJ、脉冲频率在4 Hz~7 Hz范围的组合激光参量可实现刻蚀率高、粗糙度小的微通道加工。这些结果对于合理选择激光参量、提高玻璃微通道的加工效率及质量是有帮助的。

English Abstract

参考文献 (15)

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