Ar+激光器用于电阻微调的研究

秦水介; 张正平

高级检索

ISSN 1001-3806CN 51-1125/TN 网站地图

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

Ar+激光器用于电阻微调的研究

秦水介 , 张正平

文章导航 > 激光技术 > 1997 > 21(3): 178-181

引用本文:

Citation:

Ar+激光器用于电阻微调的研究

1.
贵州大学物理系, 贵阳, 550025

作者简介: 秦水介,女,1963年10月出生.讲师,系副主任.近年来从事近代光学及激光应用等方面的教学和研究工作..

Utilization of Ar+ laser for resistance trimming

1.
Department of Physics, Guizhou University, Guiyang, 550025

摘要: 本文讨论并研究了Ar+激光器用于电阻微调的优越性。结果表明,在比常用的Nd:YAG激光功率小得多的情况下,可得到与之相当的刻线宽度和阻值稳定性。
- Ar~＋激光器 /
- 电阻微调
Abstract: The resistance trimming often use a CO2 laser or Nd:YAG laser as a light source.And the Ar+ laser has shorter wavelength than Nd:YAG and CO2 laser.The reflection index of melt film is smaller for 514.5nm wavelength and it is easy to build a better optical system to provide precise resistance trimming.This paper described the trimming system and summarized much practical data.
- Ar+ laser /
- resistance trimming

[1]	竺佩芳.激光与红外,1987;17(5):20
[2]	竺佩芳,阎吉祥.激光与红外,1987;17(7):12
[3]	王家金.激光加工技术,第一版.北京:中国计量出版社,1992:514
[4]	Cohen M G,Robert A K.Micromaterials processing,Proc of the IEEE,1992;70(6):545~555

[1]	肖登明 , 邱毓昌 . 添加Ne, Ar对N2激光器的影响. 激光技术, 1995, 19(1): 50-53.
[2]	李文兵 , 李祥友 , 曾晓雁 . 激光微细熔覆电阻浆料直写电阻技术初步研究. 激光技术, 2005, 29(2): 123-125,134.
[3]	霍苑 . 用于高功率大能量激光器电源的吸能电阻的计算和有关设计. 激光技术, 1984, 8(1): 33-36.
[4]	曾祥斌 , 白铁城 . 激光合成新型线性NTC热敏电阻材料. 激光技术, 1995, 19(4): 230-233.
[5]	吴波 , 吴云峰 , 匡艳 . 激光直写制备薄膜铂电阻技术研究. 激光技术, 2012, 36(3): 379-381.
[6]	孔荣宗 , 刘济春 , 吴云峰 , 肖红云 , 吴波 . 激光刻蚀半球型铂电阻的定位研究. 激光技术, 2014, 38(3): 321-324. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2014.03.008
[7]	. 西南技术物理所向工厂推广电阻炉无核心无位错Nd：YAG激光晶体生长技术. 激光技术, 1984, 8(1): 48-48.
[8]	. SLY-3型精密五维光纤微调架. 激光技术, 1994, 18(2): 129-129.
[9]	佘云龙译 , 汪建设校 . 用扩展电阻法测量杂质分布. 激光技术, 1979, 3(1): 55-67.
[10]	宋登元 , 郭宝增 , 李宝通 . Ar+激光诱导湿刻Si的特性研究. 激光技术, 1999, 23(3): 190-193.
[11]	高淑梅 , 兰秀风 , 刘莹 , 沈中华 , 陆建 , 倪晓武 . 不同波长的Ar+激光诱导红细胞荧光光谱特性分析. 激光技术, 2004, 28(3): 312-314,318.
[12]	魏华江 , 李晓原 , 刘小星 , 魏冬季 , 谭润初 . Kubelka-Munk模型下的兔血管对Ar+激光的散射与吸收特性. 激光技术, 2001, 25(6): 460-463.
[13]	吉选芒 , 姜其畅 , 刘劲松 . 含电阻中心对称光折变非相干耦合空间孤子对. 激光技术, 2011, 35(1): 70-73. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.01.020
[14]	吉选芒 , 姜其畅 , 刘劲松 . 含电阻和e偏振背景光光折变屏蔽光伏孤子. 激光技术, 2012, 36(1): 54-58. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2012.01.015
[15]	中尧译 , 马理校 . CD激光器. 激光技术, 1994, 18(1): 41-41.
[16]	. 军用激光器. 激光技术, 1983, 7(5): 63-63.
[17]	邹福清译 , 邹声荣校 . 固体激光器. 激光技术, 1991, 15(4): 217-217.
[18]	中尧译 , 马理校 . 光存贮激光器. 激光技术, 1994, 18(1): 27-27.
[19]	张贤义译 , 马理校 . 氦氖激光器. 激光技术, 1992, 16(1): 54-54.
[20]	邹福清译 , 刘建卿校 . Orlon压缩激光器. 激光技术, 1993, 17(5): 263-263.