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ISSN1001-3806CN51-1125/TN 网站地图

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一种提高极值法监控精度的方法

张晓晖 陈清明 朱伟民 汤炜 杨光

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一种提高极值法监控精度的方法

    作者简介: 张晓晖,女,1965年3月出生.博士,副教授.从事光学薄膜及军用激光测距仪的研究..

A method to improve the precision of turning point monitoring approach

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出版历程
  • 收稿日期:  2000-05-31
  • 录用日期:  2000-12-28
  • 刊出日期:  2001-09-25

一种提高极值法监控精度的方法

    作者简介: 张晓晖,女,1965年3月出生.博士,副教授.从事光学薄膜及军用激光测距仪的研究.
  • 1. 华中科技大学激光技术国家重点实验室 武汉430074

摘要: 提出了一种提高极值法监控薄膜淀积层厚精度的方法。该监控方法通过改变各层膜的反射率极值过正量而将被镀膜层精确地停镀于其膜厚的设计值。这一方法既可提高淀积规整膜系时的层厚监控精度,也可提高淀积非规整膜系时的层厚监控精度。

English Abstract

参考文献 (4)

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