1维微纳米周期结构的散射测量建模

尚海; 党学明

doi:10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.02.021

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1维微纳米周期结构的散射测量建模

尚海 , 党学明

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引用本文:

Citation:

1维微纳米周期结构的散射测量建模

尚海,
党学明^,

1.
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院, 合肥 230009

作者简介: 尚海(1988-),男,硕士研究生,研究方向为精密测量技术与仪器、嵌入式系统。.

通讯作者: 党学明, dangxm@ustc.edu

基金项目:
国家科技支撑计划资助项目(2012KJZC0133)
中图分类号: O436.2

Model of scattering measurement for 1-D micro- and nano-periodic structure

SHANG Hai,
DANG Xueming^,

1.
School of Instrument Science and Opto-electronics Engineering, Hefei University of Technology, Hefei 230009, China

Corresponding author: DANG Xueming, dangxm@ustc.edu

CLC number: O436.2

摘要: 为了研究散射测量的正向测量依据,采用严格耦合波分析理论,对1维矩形面型周期性结构衍射建模,在MATLAB环境下实现严格耦合波分析算法,并讨论了1维周期结构高度、线宽和占空比的测量特性,理论上线宽的测量可以达到纳米级分辨率。结果表明,严格耦合波分析理论精确和高效,对1维微纳米周期结构表现出了良好的测量特性。这为散射测量提供了科学性和可行性依据。
- 散射 /
- 微纳米测量 /
- 严格耦合波分析 /
- 光栅
Abstract: In order to study the forward measurement principle of scattering measurement, the diffraction model of 1-D periodic rectangular structure was made by rigorous coupled-wave analysis (RCWA) algorithm and programmed by MATLAB. Measurement characteristics of height, linewidth and duty cycle for 1-D periodic structure were thoroughly discussed. In theory, the measurement resolution of linewidth could achieve nanometer level. The results show that RCWA algorithm could achieve accurate and efficient purpose and its good measurement properties for 1-D periodic micro-and nano-structure provide a scientific and feasible basis for scattering measurement.
- scattering /
- micro- and nano-measurement /
- rigorous coupled-wave analysis /
- grating

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1维微纳米周期结构的散射测量建模

尚海
党学明^,

通讯作者: 党学明, dangxm@ustc.edu

作者简介: 尚海(1988-),男,硕士研究生,研究方向为精密测量技术与仪器、嵌入式系统。

1. 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院, 合肥 230009

收稿日期: 2015-01-07
录用日期: 2015-03-06
网络出版日期: 2016-03-25

基金项目: 国家科技支撑计划资助项目(2012KJZC0133)

关键词:

摘要: 为了研究散射测量的正向测量依据,采用严格耦合波分析理论,对1维矩形面型周期性结构衍射建模,在MATLAB环境下实现严格耦合波分析算法,并讨论了1维周期结构高度、线宽和占空比的测量特性,理论上线宽的测量可以达到纳米级分辨率。结果表明,严格耦合波分析理论精确和高效,对1维微纳米周期结构表现出了良好的测量特性。这为散射测量提供了科学性和可行性依据。