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ISSN1001-3806CN51-1125/TN 网站地图

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质子交换LiNbO3波导表面裂纹的研究

张谦述 刘永智 杨亚培 戴基智

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质子交换LiNbO3波导表面裂纹的研究

    作者简介: 张谦述(1974- ),男,博士研究生,讲师,主要从事集成光学研究..
    通讯作者: 刘永智, yzliu123@uestc.edu.cn
  • 基金项目:

    国防预研基金资助项目(02040203023514DZ02)

  • 中图分类号: TN252

Investigation of the cracks on the surface of proton-exchanged LiNbO3 wave-guides

    Corresponding author: LIU Yong-zhi, yzliu123@uestc.edu.cn ;
  • CLC number: TN252

  • 摘要: 为了研究x切铌酸锂波导表面裂纹的产生机理及对波导性能的影响,采用对比实验、波导表面观察、XRD晶相分析、红外吸收谱分析等方法,比较了退火后波导的微观结构、表面情况、波导中H+存在形式和浓度变化特征.结果表明,质子交换铌酸锂波导表面裂纹是波导层应力顺晶体主解理面释放而产生的,具有4个特点:裂纹是交换过程造成的,裂纹间相互平行,裂纹程度与交换时间成正比,退火工艺对裂纹程度有所改善;裂纹是波导层应力大小的宏观体现;退火工艺可以调整波导层中H+的存在形式及其浓度,调整波导层晶相和应力大小,从而改善波导性能.可见纯质子交换波导层中多相并存,各晶相晶格常数差异较大造成应力,导致裂纹产生.提出α相波导的晶格变形小,引起的应力也小,可以减少裂纹产生,有助于提高波导质量.
  • [1]

    ZHANG D L,DING G L,GAI Y M et al.Proton-exchanged opticalwaveguide[J].Progress in Physics,2001,21(1):45~65(in Chinese).
    [2]

    JACKEL J L.Proton exchange:past,present,and future[J].SPIE,1991,1583:54~63.
    [3]

    YIN Y J.The handbook of chenistry used in college[M].Ji'nan:Shandong Science and Technology Press,1985.1092(in Chinese).
    [4]

    YIN Y J.The handbook of chemistry used in college[M].Ji'nan:Shandong Science and Technology Press,1985.1093(in Chinese).
    [5]

    WEIS R S,GAYLORD T K.Summary of physical and crystal structure[J].Appl Phys,1985,36(4):191~203.
    [6]

    LI Sh T.The elements of crystal XRD[M].Beijing:Metallurgical Industry Press,1990.19~32(in Chinese).
    [7]

    LI J Z.Crystal optics[M].Beijing:Beijing University of Technology Press,1989.21~23(in Chinese).
    [8]

    LONI A,HAY G,de la RUE R M et al.Proton-exchanged LiNbO3 waveguides:the effects of post-exchange annealing and buffered melts as determined by infrared spectroscopy,optical waveguide measurements,and hydrogen isotopic exchange reactions[J].IEEE Journal of Lightwave Technology,1989,7(6):911~919.
  • [1] 胡哲峰陈福深孙豹陈实 . 集成光波导电场传感器分段电极频率响应分析. 激光技术, 2011, 35(5): 688-691. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2011.05.030
    [2] 李士玲叶永凯 . 飞秒激光直写透明光学材料光波导的研究进展. 激光技术, 2012, 36(6): 783-787. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2012.06.018
    [3] 张辉桑胜波菅傲群段倩倩张文栋 . SOI纳米光波导表面粗糙度的研究进展. 激光技术, 2017, 41(3): 367-375. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2017.03.013
    [4] 李长红戴基智宋新祥易鹏 . 电场辅助离子交换制备玻璃光波导. 激光技术, 2006, 30(2): 189-191.
    [5] 李安英杨亚培 . 光波导光束传输法数值分析新进展. 激光技术, 2000, 24(4): 236-240.
    [6] 杜亮亮高向东张南峰季玉坤 . 激光焊接裂纹磁光成像频域特征分析. 激光技术, 2020, 44(2): 226-231. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2020.02.016
    [7] 周钰杰冯力群孙军强 . PPLN光波导中传输光波模场重叠因子分析. 激光技术, 2012, 36(5): 677-681. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2012.05.026
    [8] 李晓惠杨亚培 . 基于LiNbO3波导的共线集成声光器件. 激光技术, 2004, 28(4): 355-358.
    [9] 缪庆元何健何平安王宝龙黄德修 . 集成双波导半导体光放大器小信号放大纵向特性. 激光技术, 2012, 36(3): 289-292.
    [10] 郭亚平赵江李波 . 基于波导间隔余弦分布的光学相控阵研究. 激光技术, 2019, 43(1): 98-102. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2019.01.020
    [11] 马鹏飞于磊王政王鹏飞张冶金潘教青 . 基于SiN平板波导光栅的128通道光学相控阵. 激光技术, 2024, 48(6): 832-837. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2024.06.008
    [12] 尹赫马晶谭立英李密 . 高功率MgO:LiNbO3波导调制器的非线性影响分析. 激光技术, 2007, 31(3): 242-245.
    [13] 韩晓星朱大庆宁娜金曦 . 用于光波导的高性能聚合物薄膜制备工艺研究. 激光技术, 2004, 28(3): 315-318.
    [14] 宋琦宋昌烈高景生李成仁李淑凤李建勇李国卿 . 中频溅射技术制备镱铒共掺Al2O3光波导. 激光技术, 2005, 29(4): 440-442,445.
    [15] 张文杨建义王明华 . 玻璃基离子交换型宽带22 3dB耦合器研究. 激光技术, 2013, 37(5): 582-586. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.05.005
    [16] 苏洁梅戴基智杨亚培 . 光波导放大器的研究进展. 激光技术, 2004, 28(6): 604-608.
    [17] 孙光春周自刚杨永佳王强 . 新型S形光波导低弯曲损耗路径设计. 激光技术, 2010, 34(5): 690-693. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2010.O5.031
    [18] 王强周自刚孙光春杨永佳 . Y分支3维光波导横截面折射率分布. 激光技术, 2010, 34(6): 828-831. doi: 10.3969/j.issn.1001-3806.2010.06.029
    [19] 成娟娟谢康 . 新型反谐振反射光波导传感器的研究. 激光技术, 2007, 31(1): 74-76,101.
    [20] 王梦瑶朱海红祁婷张虎曾晓雁 . 选区激光熔化成形Al-Si合金及其裂纹形成机制研究. 激光技术, 2016, 40(2): 219-222. doi: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.02.014
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-07-07
  • 录用日期:  2005-10-31
  • 刊出日期:  2006-07-25

质子交换LiNbO3波导表面裂纹的研究

    通讯作者: 刘永智, yzliu123@uestc.edu.cn
    作者简介: 张谦述(1974- ),男,博士研究生,讲师,主要从事集成光学研究.
  • 1. 电子科技大学, 光电信息学院, 成都, 610054;
  • 2. 西华师范大学, 物理与电子信息学院, 南充, 637002
基金项目:  国防预研基金资助项目(02040203023514DZ02)

摘要: 为了研究x切铌酸锂波导表面裂纹的产生机理及对波导性能的影响,采用对比实验、波导表面观察、XRD晶相分析、红外吸收谱分析等方法,比较了退火后波导的微观结构、表面情况、波导中H+存在形式和浓度变化特征.结果表明,质子交换铌酸锂波导表面裂纹是波导层应力顺晶体主解理面释放而产生的,具有4个特点:裂纹是交换过程造成的,裂纹间相互平行,裂纹程度与交换时间成正比,退火工艺对裂纹程度有所改善;裂纹是波导层应力大小的宏观体现;退火工艺可以调整波导层中H+的存在形式及其浓度,调整波导层晶相和应力大小,从而改善波导性能.可见纯质子交换波导层中多相并存,各晶相晶格常数差异较大造成应力,导致裂纹产生.提出α相波导的晶格变形小,引起的应力也小,可以减少裂纹产生,有助于提高波导质量.

English Abstract

参考文献 (8)

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