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Nd:YAG连续激光诱导下硅中钛过饱和掺杂研究

范宝殿 陈蓉 庞爱锁 陈朝

引用本文:
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Nd:YAG连续激光诱导下硅中钛过饱和掺杂研究

    作者简介: 范宝殿(1976-),男,博士研究生,现主要从事第三代太阳电池的研究。.
    通讯作者: 陈朝, cchen@xmu.edu.cn
  • 中图分类号: TN248.1+3;TN305.3

Study on Si doped with supersaturated Ti induced by continuous wave Nd:YAG laser

    Corresponding author: CHEN Chao, cchen@xmu.edu.cn
  • CLC number: TN248.1+3;TN305.3

  • 摘要: 为了在硅中掺入过饱和的过渡金属杂质,采用自行设计的线形大功率Nd:YAG激光辐照表面溅射钛的硅片,对辐照后样品进行了俄歇电子能谱测试,利用2维热力学模型,对连续激光扫描的过程进行了热力学模拟。结果表明,硅中的钛掺杂浓度远高于钛在硅中的固溶度,钛的最高浓度在表面下方一定距离处;硅片中的最高温度并不在硅的表面,温度分布导致了钛的分布不在表面;模拟结果与实验结果吻合得较好。线形连续激光能够通过对材料表面扫描辐照的方式进行加工,实现过饱和掺杂。
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出版历程
  • 收稿日期:  2015-02-04
  • 录用日期:  2015-02-13
  • 刊出日期:  2016-03-25

Nd:YAG连续激光诱导下硅中钛过饱和掺杂研究

    通讯作者: 陈朝, cchen@xmu.edu.cn
    作者简介: 范宝殿(1976-),男,博士研究生,现主要从事第三代太阳电池的研究。
  • 1. 厦门大学能源学院, 厦门 361005;
  • 2. 厦门大学物理与机电工程学院, 厦门 361005

摘要: 为了在硅中掺入过饱和的过渡金属杂质,采用自行设计的线形大功率Nd:YAG激光辐照表面溅射钛的硅片,对辐照后样品进行了俄歇电子能谱测试,利用2维热力学模型,对连续激光扫描的过程进行了热力学模拟。结果表明,硅中的钛掺杂浓度远高于钛在硅中的固溶度,钛的最高浓度在表面下方一定距离处;硅片中的最高温度并不在硅的表面,温度分布导致了钛的分布不在表面;模拟结果与实验结果吻合得较好。线形连续激光能够通过对材料表面扫描辐照的方式进行加工,实现过饱和掺杂。

English Abstract

参考文献 (19)

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